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龙图腾网获悉陕西斯瑞新材料股份有限公司申请的专利一种靶材冷却系统的真空钎焊工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116237607B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310174695.4，技术领域涉及：B23K1/008；该发明授权一种靶材冷却系统的真空钎焊工艺是由刘锦慧;杨平;岳佳伟;樊龙辉设计研发完成，并于2023-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种靶材冷却系统的真空钎焊工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种靶材冷却系统的真空钎焊工艺，包括以下步骤：S1、装配：在铜铬底板的非水道部位涂抹镍基焊膏后再装配到铜铬方腔内，再在铜铬方腔的内部结合处的四周、不锈钢水嘴、铜铬方腔、铜铬底板相互连接的部位四周涂上镍基焊膏；并在装配完成后给铜铬底板、不锈钢水嘴配上一定的压重；S2、真空钎焊：将步骤S1装配好的组件放入真空炉中，采用梯度升温加热的方式完成真空钎焊；并在真空钎焊后进行浸油处理；S3、水压检测：利用水压检测装置进行水压检测；本发明真空钎焊工艺是将铜铬零件、不锈钢零件一次性装配，并在真空炉中进行真空钎焊，解决了一次性焊接及焊后检漏变形问题。

本发明授权一种靶材冷却系统的真空钎焊工艺在权利要求书中公布了：1.一种靶材冷却系统的真空钎焊工艺，其特征在于，包括以下步骤： S1、装配靶材冷却系统： 对铜铬底板1、不锈钢水嘴2、铜铬方腔3进行清洗，使表面无油、无氧化、无污染物后，先对铜铬底板1、不锈钢水嘴2、铜铬方腔3的各个焊接部位进行活化处理，所述活化处理为：用蚀刻液对各个焊接部位进行蚀刻，蚀刻厚度为焊接部位厚度的135~140，蚀刻时间为9~11min，然后在蚀刻生成的部位涂抹活化剂，涂抹完成后放入温度为150~180℃的惰性气体中干燥； 在所述铜铬底板1的非水道部位涂抹镍基焊膏，再将涂有镍基焊膏的铜铬底板1装配到所述铜铬方腔3内，在铜铬方腔3的内部结合处的四周涂抹镍基焊膏，以及将不锈钢水嘴2、铜铬方腔3、铜铬底板1相互连接的部位四周涂抹镍基焊膏； 其中，所述活化剂的涂抹量为所述镍基焊膏质量的2~5%； 再以2~5MPa的挤压压力、0.5~1cm2的单次挤压面积挤压涂抹了镍基焊膏的部位，挤压完所有面积后再重复挤压3~5次，以对镍基焊膏层进行均匀分散处理； 并在装配完成后给铜铬底板1、不锈钢水嘴2配上压重，得到装配好的靶材冷却系统； S2、真空钎焊： 将步骤S1装配好的靶材冷却系统放入真空度为5×10-2pa的真空炉中，启动真空炉控制程序，采用梯度升温加热的方式完成真空钎焊； 真空钎焊结束后将靶材冷却系统浸入90~100℃的机油中浸泡1.5~2h，并在浸油过程中通入频率为50Hz、密度为50~70mAmm的电流，浸油结束后在25~30W的紫外功率下烘干5~10min； S3、水压检测： 利用水压检测装置对步骤S2得到的靶材冷却系统进行水压检测，每分钟的压力漏率＜0.1%，变形量≤5%。

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