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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种静电力平衡式MEMS加速度计及其闭环控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116223844B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310085393.X，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权一种静电力平衡式MEMS加速度计及其闭环控制方法是由伍文杰;李方正;高乐;蔡冰洋;涂良成设计研发完成，并于2023-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种静电力平衡式MEMS加速度计及其闭环控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种静电力平衡式MEMS加速度计及其闭环控制方法，属于仪器仪表领域，方法为：将加速度信号转换为位移信号；平行板电容动极板移动，与对应的两个平行板电容定极板形成差分电容；在平行板电容动极板上施加偏置电压，将差分电容转换为电压信号；采用载波对差分电容调制，与电压信号相乘后顺次经过低通滤波和PID控制形成反馈控制信号；将反馈控制信号与载波信号相加获取定极板施加信号；作用在平行板电容定极板的定极板施加信号，与施加在平行板电容动极板上的偏置电压共同得到静电反馈力，使平行板电容动极板的位置恢复至初始位置。本发明对比现有力平衡式闭环方案在成本、加工难度和可靠性上具有显著优势。

本发明授权一种静电力平衡式MEMS加速度计及其闭环控制方法在权利要求书中公布了：1.一种静电力平衡式MEMS加速度计，其特征在于，包括：电容检测电路、偏置电压电源、载波发生器、反馈控制电路和MEMS系统； 所述电容检测电路和所述偏置电压电源的输入端连接MEMS系统的输出端；所述电容检测电路的输出端连接所述反馈控制电路的输入端；所述反馈控制电路的输出端接入MEMS系统；所述载波发生器与反馈控制电路相连； 所述MEMS系统包括玻璃上盖、弹簧振子、若干组平行板电容定极板和若干平行板电容动极板；所述玻璃上盖靠近所述弹簧振子侧设置有平行板电容定极板；所述弹簧振子靠近所述玻璃上盖的一侧设置有平行板电容动极板；每两个平行板电容定极板作为一组，对应一个平行板电容动极板；所述平行板电容定极板与所述平行板电容动极板平行放置，且所述平行板电容动极板初始放置于两个平行板电容定极板的中间；所述平行板电容动极板的输出端连接所述偏置电压电源和所述电容检测电路； 所述弹簧振子用于将外界的加速度信号转换为位移信号；所述平行板电容动极板用于在弹簧振子的移动下移动，与对应的两个所述平行板电容定极板的面积一个增大一个减小，形成差分电容结构；所述平行板电容定极板用于在定极板施加信号的作用下，与施加在平行板电容动极板上的偏置电压共同作用得到静电反馈力；所述静电反馈力用于使平行板电容动极板的位置恢复至两个平行板电容定极板的中间； 所述电容检测电路用于将调制电流信号转换为调制电压信号；所述偏置电压电源用于在平行板电容动极板上施加偏置电压；载波发生器用于产生载波对差分电容进行调制，输出调制电流信号；反馈控制电路用于将调制电压信号与载波相乘解调后经过低通滤波，PID控制产生反馈控制信号，反馈控制信号与载波信号相加，获取定极板施加信号。

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