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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种消除中频相干噪声的米级平面元件面形检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115900582B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211409506.9，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种消除中频相干噪声的米级平面元件面形检测装置及方法是由刘东;骆维舟;徐兆锐;彭韶婧;李欣明设计研发完成，并于2022-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种消除中频相干噪声的米级平面元件面形检测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种消除中频相干噪声的米级平面元件面形检测装置及方法，其中，检测方法包括：1通过电动五维调整架调整大口径元件夹持的角度，得到对焦清晰且条纹对比度良好的干涉图；2通过调节激光器控制器电压，使得可调谐激光器波长改变，从而实现波长移相，利用测量相机分时采集获得一组移相干涉图；3对移相干涉图依次进行孔径选取、随机步长移相算法解调面形、神经网络方法解包裹相位、像差拟合去除倾斜，得到面形图φx,y，并对面形图φx,y进行系统误差去除；4利用卷积神经网络进行处理，消除中频相干噪声得到φdnx,y。利用本发明，可以有效且高精度的对米级平面元件中频面形进行测量。

本发明授权一种消除中频相干噪声的米级平面元件面形检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种消除中频相干噪声的米级平面元件面形检测装置，其特征在于，包括干涉检测系统和计算机处理模块； 所述的干涉检测系统安装在气浮隔震光学平台1上，包括可调谐激光器2、起偏器3、扩束镜4、空间滤波器5、反射镜6、分光棱镜7、成像透镜8、测量相机9、小口径准直物镜组10、小口径负透镜11、第一折转反射镜12、第二转折反射镜13、大口径准直物镜14、透射标准平晶TF15和反射标准平晶RF17； 其中，可调谐激光器2发出的激光经过起偏器3后获得线偏光，依次经过扩束镜4、空间滤波器5、反射镜6、分光棱镜7、小口径准直物镜组10后出射平行光；平行光出射后通过小口径负透镜11，经过第一折转反射镜12和第二转折反射镜13实现两次转折，再通过大口径准直物镜14，出射扩束后的平行光；扩束后的平行光经过透射标准平晶TF15时，将会反射一部分光缩束回至分光棱镜7，作为干涉参考光；另一部分光作为测量光透射经过待测镜16后被反射标准平晶RF17反射，原路返回至分光棱镜7，作为干涉检测光；干涉参考光和干涉检测光通过分光棱镜7反射后经过成像透镜8，在测量相机9的像面处发生干涉，得到干涉图； 所述的计算机处理模块包括硬件控制模块、图像采集模块、干涉图数据分析处理模块；硬件控制模块与可调谐激光器2的控制器连接，通过调节可调谐激光器2的控制器电压，使得可调谐激光器2的波长改变，从而实现波长移相；图像采集模块与测量相机9相连，在得到一组波长移相干涉图后，将数据传输至干涉图数据分析处理模块进行分析。

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