华海清科股份有限公司杨晓良获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种基板减薄装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115771076B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211546041.1，技术领域涉及：B24B7/22；该发明授权一种基板减薄装置是由杨晓良;刘远航;张胜;付永旭设计研发完成，并于2022-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基板减薄装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基板减薄装置，其包括：基座；减薄模块，设置于基座的上部；转盘，设置于基座上部并位于减薄模块的侧部；所述转盘的上方配置有载置基板的吸盘；还包括位置校核组件，其包括旋转部、摆臂和测量部，所述摆臂的一端连接于所述旋转部，摆臂的另一端设置有测量部；所述测量部配置有检测传感器，其能够通过摆臂移动至吸盘上方；减薄模块的砂轮朝向测量部移动，使得测量部的检测传感器与吸盘抵接；所述检测传感器触发所述砂轮停止下移的信号，以获取砂轮与吸盘之间的距离。
本发明授权一种基板减薄装置在权利要求书中公布了：1.一种基板减薄装置，其特征在于，包括： 基座； 减薄模块，设置于基座的上部； 转盘，设置于基座上部并位于减薄模块的侧部； 所述转盘的上方配置有载置基板的吸盘； 还包括位置校核组件，其包括旋转部、摆臂、测量部和弹簧，所述摆臂的一端连接于旋转部，摆臂的另一端设置有测量部；所述测量部配置有检测传感器，其能够通过摆臂移动至吸盘上方；所述弹簧连接于摆臂与连杆之间，弹簧的数量为一对，其对称设置于连杆的两侧；所述摆臂通过连杆铰接于测量部，使得测量部沿竖直方向适应性移动； 所述测量部还配置有限位传感器，其与检测传感器间隔设置；并且，所述限位传感器的安装位置高于检测传感器的安装位置； 减薄模块的砂轮朝向测量部移动，使得测量部的检测传感器与吸盘抵接；所述检测传感器触发所述砂轮停止下移的信号，以获取砂轮与吸盘之间的距离。
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