应用材料公司A·K·班塞尔获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于沉积应用的高温面板获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115702259B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180042781.9，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权用于沉积应用的高温面板是由A·K·班塞尔;S·拉斯;T·A·恩古耶设计研发完成，并于2021-05-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于沉积应用的高温面板在说明书摘要公布了：本公开的实施例涉及用于处理腔室的面板。在一个示例中，面板包括主体，主体具有穿过主体形成的多个孔。加热组件设置在主体内，并且加热组件环绕多个孔。支撑环设置在主体中。支撑环环绕加热组件。支撑环包括主要体和从主要体径向向内延伸的悬臂。悬臂接触面板的主体。
本发明授权用于沉积应用的高温面板在权利要求书中公布了：1.一种用于处理腔室的面板，包括： 主体，所述主体具有穿过所述主体形成的多个孔； 加热组件，所述加热组件设置在所述主体内，所述加热组件环绕所述多个孔；以及 支撑环，所述支撑环设置在所述主体中，所述支撑环环绕所述加热组件，所述支撑环包括主要体和从所述主要体径向向内延伸的悬臂，所述悬臂接触所述面板的所述主体， 其中在所述支撑环的所述主要体的径向向内表面与所述面板的所述主体之间形成第一间隙，并且在所述主要体的上表面与所述面板的所述主体之间形成第二间隙。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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