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龙图腾网获悉中国科学院西安光学精密机械研究所申请的专利一种超光滑表面元件的散射特性测量装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115575354B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211165880.9，技术领域涉及：G01N21/49；该发明授权一种超光滑表面元件的散射特性测量装置及方法是由刘巍;李朝辉;毛振;赵建科;朱辉;魏紫薇;刘勇;刘金博设计研发完成，并于2022-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种超光滑表面元件的散射特性测量装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种超光滑表面元件的散射特性测量装置及方法，解决了超光滑表面元件散射特性的检测效率低、系统复杂、易造成元件表面损伤的问题。具体包括光源组件、移频调制单元、积分球、平移台、图像采集单元及数据处理单元；光源组件发射入射光线；移频调制单元将入射光线分成具有固定频率差的第一光束和第二光束；积分球上设有与第一光束对应的第一入射口、与第二光束对应的第二入射口、用于设置待测元件的采样口，以及第一出射口和第二出射口；采样口分别与第一入射口和第一出射口对应；平移台设在积分球的采样口处，用于匀速平移采样口处的待测元件；图像采集单元设置在积分球第二出射口外；数据处理单元与图像采集单元电连接。

本发明授权一种超光滑表面元件的散射特性测量装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种超光滑表面元件的散射特性测量方法，基于一种超光滑表面元件的散射特性测量装置，其特征在于， 所述超光滑表面元件的散射特性测量装置，包括光源组件1、移频调制单元2、积分球3、平移台4、图像采集单元5以及数据处理单元6； 所述光源组件1发射入射光线； 所述移频调制单元2位于入射光线所在光路上，将入射光线分成具有固定频率差的第一光束和第二光束； 所述积分球3上设有与第一光束对应的第一入射口31、与第二光束对应的第二入射口32、用于设置待测元件7的采样口33，以及第一出射口34和第二出射口35；所述采样口33位于从第一入射口31进入积分球3的第一光束所在光路上，所述第一出射口34位于所述第一光束经待测元件7反射后的光线所在光路上； 所述平移台4设置在积分球3的采样口33处，用于对采样口33处的待测元件7进行匀速平移； 所述图像采集单元5对应设置在积分球3的第二出射口35外； 所述数据处理单元6与图像采集单元5电连接； 所述超光滑表面元件的散射特性测量方法，包括以下步骤： 步骤1、通过光源组件1发射入射光线； 步骤2、使所述入射光线经移频调制单元2调制为具有固定频率差的第一光束和第二光束；所述第一光束经积分球3的第一入射口31进入积分球3，至积分球3采样口33处的待测元件7表面，经待测元件7反射形成反射光线，同时经待测元件7散射形成散射光线；所述第二光束经积分球3的第二入射口32进入积分球3；所述反射光线经积分球3的第一出射口34直接射出；所述散射光线与进入积分球3的第二光束相互干涉形成干涉光线，并经积分球3的第二出射口35射出； 步骤3、通过图像采集单元5接收所述干涉光线，得到光信号图像，并将所述光信号图像发送至数据处理单元6； 步骤4、通过位于所述积分球3的采样口33处的平移台4匀速移动待测元件7，并重复执行步骤2和步骤3，对待测元件7表面进行推扫，直至完成待测元件7全部表面的光信号图像采集； 步骤5、所述数据处理单元6接收推扫过程中得到的全部光信号图像，并根据全部光信号图像计算待测元件7表面的散射特性。

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