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龙图腾网获悉苏州展德自动化设备有限公司申请的专利半导体元件多自由度定位机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115332138B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211047236.1，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权半导体元件多自由度定位机构是由狄建科;武晓波设计研发完成，并于2022-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体元件多自由度定位机构在说明书摘要公布了：本发明涉及一种半导体元件多自由度定位机构，包括固定底板、纠偏机构、X向纠偏相机模组、Z向纠偏相机模组和Y向纠偏相机模组，纠偏机构、X向纠偏相机模组、Z向纠偏相机模组和Y向纠偏相机模组均安装在固定底板上，X向纠偏相机模组位于纠偏机构沿着Y轴负方向的一侧，Z向纠偏相机模组位于纠偏机构的正上方位置，Y向纠偏相机模组位于纠偏机构沿着X轴负方向的一侧。本发明通过纠偏机构、X向纠偏相机模组、Z向纠偏相机模组和Y向纠偏相机模组的协同配合，在三个方向的视觉定位的控制下，能够对微小元器件在微小的空间内进行精确的六自由度纠偏定位。

本发明授权半导体元件多自由度定位机构在权利要求书中公布了：1.半导体元件多自由度定位机构，包括固定底板1、纠偏机构2、X向纠偏相机模组3、Z向纠偏相机模组4和Y向纠偏相机模组5，所述纠偏机构2、X向纠偏相机模组3、Z向纠偏相机模组4和Y向纠偏相机模组5均安装在固定底板1上，其特征在于，所述X向纠偏相机模组3位于纠偏机构2沿着Y轴负方向的一侧，所述Z向纠偏相机模组4位于纠偏机构2的正上方位置，所述Y向纠偏相机模组5位于纠偏机构2沿着X轴负方向的一侧； 所述纠偏机构2从下往上依次包括纠偏底板6、六轴纠偏定位机构和纠偏吸附基座14，所述六轴纠偏定位机构的底部通过下方的纠偏底板6安装在固定底板1上，所述六轴纠偏定位机构的顶部与上方的纠偏吸附基座14相连接； 所述X向纠偏相机模组3包括X向相机底板15、X向相机直线电机16和X向相机检测机构，所述X向相机直线电机16的底部通过下方的X向相机底板15沿着X轴方向安装在固定底板1上，所述X向相机直线电机16顶部的驱动端通过X向相机滑台板17与上方的X向相机检测机构驱动连接设置，所述X向相机检测机构包括X向相机20、X向镜头21、X向相机光源23和棱镜24，所述X向相机20、X向镜头21和棱镜24依次沿着X轴的负方向设置且通过X向镜头安装座22安装在X向相机双轴驱动机构上，所述X向相机双轴驱动机构安装在X向相机滑台板17上，所述X向相机光源23位于棱镜24沿着Y轴正方向的一侧且通过X向相机光源支架25安装在X向相机滑台板17上； 所述Z向纠偏相机模组4包括Z向顶安装板26和Z向相机检测机构，所述Z向顶安装板26的底部设置有Z向相机三轴驱动机构，所述Z向相机三轴驱动机构的底部设置有Z向镜头安装座30，所述Z向相机检测机构包括Z向相机31、Z向镜头32和Z向相机光源33，所述Z向相机31、Z向镜头32和Z向相机光源33依次沿着Z轴的负方向设置且通过Z向镜头安装座30安装在Z向相机三轴驱动机构上，所述Z向相机光源33通过Z向相机光源支架34安装在Z向相机三轴驱动机构上； 所述Y向纠偏相机模组5包括Y向相机底板35和Y向相机检测机构，所述Y向相机底板35安装在固定底板1上，所述Y向相机底板35上设置有Y向相机三轴驱动机构，所述Y向相机检测机构包括Y向相机40、Y向镜头41和Y向相机光源42，所述Y向相机40、Y向镜头41和Y向相机光源42依次沿着X轴的正方向设置且通过Y向镜头安装座39安装在Y向相机三轴驱动机构上，所述Y向相机光源42通过Y向相机光源支架43安装在Y向相机三轴驱动机构上。

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