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朗姆研究公司古斯塔沃·G·弗兰肯获国家专利权

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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利基于可视的晶片凹口的位置测量获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114914184B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210308785.3,技术领域涉及:H01L21/68;该发明授权基于可视的晶片凹口的位置测量是由古斯塔沃·G·弗兰肯;布兰登·森;彼得·陶拉德;陈卓智;理查德·K·莱昂斯;克里斯汀·迪皮特罗;克里斯多夫·M·巴特利特设计研发完成,并于2016-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

基于可视的晶片凹口的位置测量在说明书摘要公布了:本发明涉及基于可视的晶片凹口的位置测量。一种晶片对准系统包括捕获定位在基座上的晶片的图像的图像捕获设备。图像分析模块分析所述图像以检测晶片的边缘与形成在晶片的边缘的凹口并且基于所述凹口的位置计算对应于晶片的边缘的第一边缘位置和第二边缘位置。偏移计算模块基于第一边缘位置和第二边缘位置计算晶片的角度偏移。系统控制模块基于该角度偏移控制晶片从基座到处理单元的传送。

本发明授权基于可视的晶片凹口的位置测量在权利要求书中公布了:1.一种晶片对准系统,其包括: 图像捕获模块,其被配置为捕获定位在支撑表面上的晶片的一张图像; 图像分析模块,其被配置为i分析捕获的所述图像以识别所述晶片的边缘和形成在所述晶片的凹口,并且ii基于所述凹口的位置和所述晶片的曲率计算与沿所述晶片的所述边缘的第一边缘位置和第二边缘位置,其中所述第一边缘位置和所述第二边缘位置沿着所述晶片的边缘定位在与所述凹口的位置相反方向上的预定距离处; 偏移计算模块,其被配置为基于所述第一边缘位置和所述第二边缘位置中的至少一者计算所述晶片的角度偏移;以及 系统控制模块,其被配置为基于所述角度偏移调节所述晶片的旋转方向。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司,其通讯地址为:美国加利福尼亚州;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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