细美事有限公司李相旼获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利用于处理基板的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695194B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111628192.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于处理基板的装置是由李相旼;吴承勋;李钟斗;朴美昭设计研发完成，并于2021-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理基板的装置在说明书摘要公布了：提供一种用于处理基板的装置。在示例性实施方式中，用于处理基板的装置包括：处理腔室，其被配置为具有第一主体和第二主体，该第一主体和第二主体彼此结合以具有处理空间，在该处理空间中处理基板；和防摩擦构件，其放置在第一主体和第二主体之间的接触表面上，其中防摩擦构件具有形成在与接触表面对应的表面上的凹槽，在凹槽中可设置有用于粘附在防摩擦构件和第一主体之间或防摩擦构件和第二主体之间的粘合剂，并且凹槽可以形成开口图案。
本发明授权用于处理基板的装置在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的装置，包括： 处理腔室，所述处理腔室被配置为具有第一主体和第二主体，所述第一主体和所述第二主体彼此结合以具有处理空间，在所述处理空间中处理基板；和 防摩擦构件，所述防摩擦构件放置在所述第一主体和所述第二主体之间的接触表面上， 其中所述防摩擦构件具有形成在与所述接触表面对应的表面上的凹槽， 其中在所述凹槽中设置有用于粘附在所述防摩擦构件和所述第一主体之间或所述防摩擦构件和所述第二主体之间的粘合剂，并且 其中所述凹槽形成开口图案。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人细美事有限公司，其通讯地址为：韩国忠清南道；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励