细美事有限公司都完镐获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利升降销组件及具有该升降销组件的基板处理装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114253077B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111106614.4,技术领域涉及:G03F7/16;该发明授权升降销组件及具有该升降销组件的基板处理装置是由都完镐设计研发完成,并于2021-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本升降销组件及具有该升降销组件的基板处理装置在说明书摘要公布了:本公开实施例提供了一种升降销组件。升降销组件包括:调平螺栓,其安装在由升降装置升降的第一框架上;升降销,具有设置在升降销的下端的配重,并由调平螺栓支撑;和按压支架,其被配置成当升降销被锁定在销孔中时强制向下移动升降销。按压支架在高度上进行调节以在保持与配重的顶表面的特定间隙的同时被设置。
本发明授权升降销组件及具有该升降销组件的基板处理装置在权利要求书中公布了:1.一种升降销组件,包括: 调平螺栓,所述调平螺栓安装在由升降装置升降的第一框架上; 升降销,具有设置在所述升降销的下端的配重,并由所述调平螺栓支撑;和 按压支架,所述按压支架被配置成当所述升降销被锁定在销孔中时强制向下移动所述升降销, 其中所述按压支架在高度上进行调节以在保持与所述配重的顶表面的特定间隙的同时被设置,并且 其中所述按压支架包括: 按压部,所述按压部的一端固定至所述调平螺栓,并在与所述配重的所述顶表面保持特定间隙的同时进行定位。
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