卡尔蔡司SMT有限责任公司M.迪策尔获国家专利权
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龙图腾网获悉卡尔蔡司SMT有限责任公司申请的专利用于决定待测量物体的制造空间像的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113994264B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080043182.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于决定待测量物体的制造空间像的方法是由M.迪策尔;R.卡佩利设计研发完成，并于2020-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于决定待测量物体的制造空间像的方法在说明书摘要公布了：为了决定由于在光学制造系统的照明和成像条件下进行照明和成像所造成的待测量物体的制造空间像，首先捕获17待测量物体的测量空间像17。这在光学测量系统的照明和成像条件下进行，该条件包含预定义测量照明设定。测量空间像的数据在捕获的过程中产生。通过重建算法从所捕获的测量空间像的数据重建18待测量物体的物体结构。重建的物体结构的数据在重建的过程中产生。在光学制造系统的照明和成像条件下从重建的物体结构的数据模拟19制造空间像。该条件包含制造照明设定，其不同于测量照明设定。这导致一决定方法，其中即使在光学制造系统的严格照明和成像条件下，也减轻了在决定方法中所使用的光学测量系统的要求。
本发明授权用于决定待测量物体的制造空间像的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于决定在光学制造系统22,23的照明和成像条件下进行照明和成像所导致的待测量物体12的制造空间像Ix,y的方法，包含以下步骤： -在光学测量系统9的照明和成像条件下捕获17该待测量物体12的测量空间像Ix,y，所述条件包含一预定义测量照明设定5，其中在该捕获17的过程中产生该测量空间像Ix,y的数据； -通过重建算法从捕获的测量空间像Ix,y,z的数据重建18该待测量物体12的物体结构13，其中在该重建18的过程中产生重建的物体结构13的数据TMask；以及 -在该光学制造系统22,23的照明和成像条件TPOB,Eillu下从该重建的物体结构13的数据TMask模拟19该制造空间像Ix,y，所述条件包含制造照明设定19a，其不同于该测量照明设定5， 其中该光学制造系统22,23与该光学测量系统9是不同的光学系统。
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