东京毅力科创株式会社泽地淳获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利计测装置、计测方法和真空处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112928009B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011351752.4，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权计测装置、计测方法和真空处理装置是由泽地淳;曾根一朗;西嶋拓哉;佐藤优设计研发完成，并于2020-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本计测装置、计测方法和真空处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供不进行大气开放而高精度地计测处理容器内的状态的计测装置、计测方法和真空处理装置。计测装置包括：壳体，其形成有具有与真空处理装置的第二出入口对应的尺寸的开口部，能够在第二出入口气密地安装开口部，其中，真空处理装置在处理容器设置有用于送入送出基片的第一出入口和与第一出入口不同的第二出入口；对壳体内部进行减压的减压机构；以及收纳于壳体内部的计测机构，其在由减压机构对壳体内部进行了减压的状态下，经由开口部计测处理容器内的状态。
本发明授权计测装置、计测方法和真空处理装置在权利要求书中公布了：1.一种计测装置，其特征在于： 所述计测装置计测真空处理装置的处理容器内的状态，所述计测装置相对于所述处理容器可拆装，并包括： 计测所述处理容器内的状态的计测机构； 在内部收纳所述计测机构的第一壳体； 第二壳体，其经由可开闭的开闭部件与所述第一壳体连通，并形成有与所述处理容器的出入口连接的开口部；和 能够将所述第一壳体和所述第二壳体减压的减压机构。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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