北京华卓精科科技股份有限公司张玉利获国家专利权
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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利一种静电卡盘及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111863693B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010640542.0，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种静电卡盘及其制备方法是由张玉利;杨鹏远;王建冲;侯占杰;王超星;黎远成;何宏庆;樊文凤;唐娜娜设计研发完成，并于2020-07-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电卡盘及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种静电卡盘，其包括陶瓷基体，所述陶瓷基体埋设有静电电极和加热电极，所述静电电极和加热电极在陶瓷基体中具有高度差，所述陶瓷基体和静电电极、加热电极一次烧结成型。本发明还公开了上述静电卡盘的制备方法。与现有技术相比，本发明的静电卡盘的加热电极和静电电极是埋伏在陶瓷基体内且一次烧结成型的，避免了多次烧结带来的材料尺寸差异和内部组织恶化，实现分区加热和控温，达到升温效率高，温度均匀性高的指标。
本发明授权一种静电卡盘及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种静电卡盘，其特征在于：包括陶瓷基体，所述陶瓷基体埋设有静电电极和加热电极，所述静电电极和加热电极在陶瓷基体中具有高度差，所述陶瓷基体和静电电极、加热电极一次烧结成型；所述加热电极为添加了钛成分的钨电极，所述钛成分按质数百分数计为0.001～10％；所述加热电极呈线圈状，多个所述加热电极在所述陶瓷基体中形成一组同心圆。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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