三星显示有限公司林宰圣获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利用于处理基板的处理装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223463313U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422702491.6,技术领域涉及:H10K71/13;该实用新型用于处理基板的处理装置是由林宰圣设计研发完成,并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理基板的处理装置在说明书摘要公布了:一种用于处理基板的处理装置包括:真空室,包括处理空间,包括设置为与处理空间相邻的内壁和设置在内壁的外侧并且与内壁间隔开的外壁;和多个加热器,设置在内壁和外壁之间。
本实用新型用于处理基板的处理装置在权利要求书中公布了:1.一种用于处理基板的处理装置,其特征在于,所述处理装置包括: 真空室,包括处理空间,包括设置为与所述处理空间相邻的内壁和设置在所述内壁的外侧并且与所述内壁间隔开的外壁;和 多个加热器,设置在所述内壁和所述外壁之间。
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