浙江至格科技有限公司徐继祥获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江至格科技有限公司申请的专利一种纳米压印方法和装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115639721B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211335534.0,技术领域涉及:G03F7/00;该发明授权一种纳米压印方法和装置是由徐继祥;赵沙欧;孟祥峰设计研发完成,并于2022-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种纳米压印方法和装置在说明书摘要公布了:本发明涉及一种纳米压印方法和装置,属于纳米压印技术领域,解决了现有的方法会造成聚合物溢出玻璃基体外或微纳结构填充不够的问题。包括:1向软模板设置有微纳图形的一面喷涂聚合物胶水层,使聚合物胶水层覆盖所述微纳图形,且聚合物胶水层的厚度大于微纳图形的厚度;2将软模板喷涂有聚合物胶水层的一面与玻璃基体相对接触,进行压印,使用紫外线灯照射,待聚合物胶水层固化后,去除带有微纳图形的软膜板,具有微纳图形的聚合物胶水层留在玻璃基体表面,即得到具有微纳图形的玻璃基体。该方法可以避免聚合物外溢和结构填充不完整。
本发明授权一种纳米压印方法和装置在权利要求书中公布了:1.一种用于AR衍射光波导制作的纳米压印方法,其特征在于,所述方法包括: 向软模板设置有微纳图形的一面超声喷涂聚合物胶水层,使聚合物胶水层覆盖所述微纳图形,且聚合物胶水层的厚度大于微纳图形的厚度;其中,所述聚合物胶水层的粘度小于100cps;所述喷涂路径为S型,从软模板的一端开始,按照S型路径喷涂至软模板的另一端;所述喷涂的速度为1-3mms,喷涂距离为7-9mm,喷涂流量为45-55uLmin;所述聚合物胶水层的厚度均匀性为±2%; 将软模板喷涂有聚合物胶水层的一面与玻璃基体相对接触,进行压印,具体操作:压印开始前,先将靠近压印开始位置的软模板一端吸附固定;压印结束后,将靠近压印结束位置的软模板另一端吸附固定,所述吸附的真空度<1000pa; 使用紫外线灯照射,使聚合物胶水层固化,具体操作:将紫外线灯沿压印方向从玻璃基体的一侧匀速移动至另一侧; 所述压印和所述固化过程在惰性气体中进行,其中,所述惰性气体中氧气的浓度为1%以下; 去除带有微纳图形的软膜板,具有微纳图形的聚合物胶水层留在玻璃基体表面,即得到具有微纳图形的玻璃基体。
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