东京毅力科创株式会社齐藤进获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置和基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114730717B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080080650.5，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权基板处理装置和基板处理方法是由齐藤进设计研发完成，并于2020-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置和基板处理方法在说明书摘要公布了：一种对基板进行处理的装置，具有：腔室，其用于收容基板；热源，其对基板进行热处理；热线感应型传感器，其设置于所述腔室的外部，接受从基板辐射的红外线；以及红外线透过窗，其设置于所述腔室并使具有8μm以上的波长的红外线透过并朝向所述热线感应型传感器。
本发明授权基板处理装置和基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，对基板进行处理，所述基板处理装置具有： 腔室，其用于收容基板； 热源，其对基板进行热处理； 热线感应型传感器，其设置于所述腔室的外部，接受从基板辐射的红外线； 红外线透过窗，其设置于所述腔室并使具有8μm以上的波长的红外线透过并朝向所述热线感应型传感器；以及 控制器，其控制所述基板处理装置以进行基板处理，所述基板处理包括以下工序： 工序a，将基板搬入腔室的内部； 工序b，使用热源对基板进行热处理； 工序c，通过设置于所述腔室的外部的热线感应型传感器，经由红外线透过窗接受从基板辐射的红外线； 工序d，从所述热线感应型传感器输出与受光结果相应的电信号；以及 工序e，基于下述式1来计算基板的温度， [基板的温度]＝系数A×[来自所述热线感应型传感器的输出]+系数B×[所述热线感应型传感器的温度]+系数C×[所述红外线透过窗的温度]+截距…1。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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