苏州直为精驱控制技术有限公司黄柏琳获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州直为精驱控制技术有限公司申请的专利一种晶圆平台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223450871U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422914403.9，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种晶圆平台是由黄柏琳;章晓旗;刘吉柱设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆平台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆平台，包括底座、工作盘、驱动机构、铰链机构，工作盘沿第一方向与底座间隔设置，驱动机构分别连接底座和工作盘，驱动机构可驱动工作盘沿第一方向相对于底座移动，且还可驱动工作盘绕第二方向转动，铰链机构分别连接底座和工作盘，铰链机构用于对工作盘限位，第二方向为垂直于第一方向的任一方向。本实用新型通过铰链机构的设置，铰链机构的工作平稳无摩擦，铰链机构在工作方向能够产生变形，在其它方向刚度大，当驱动机构驱动工作盘时，由于铰链机构连接工作盘，通过铰链机构为工作盘导向和限位，保证工作盘的运动平稳无摩擦，从而便于精确地对工作盘上的晶圆进行高度和角度调整，减少人工干预和误差。
本实用新型一种晶圆平台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆平台，其特征在于，包括： 底座； 工作盘，沿第一方向与所述底座间隔设置； 驱动机构，分别连接所述底座和所述工作盘，所述驱动机构可驱动所述工作盘沿所述第一方向相对于所述底座移动，所述驱动机构还可驱动所述工作盘绕第二方向转动； 铰链机构，所述铰链机构分别连接所述底座和所述工作盘，所述铰链机构用于对所述工作盘限位； 其中，所述第二方向为垂直于所述第一方向的任一方向。
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