福建金石能源有限公司杨与胜获国家专利权
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龙图腾网获悉福建金石能源有限公司申请的专利一种适用于真空腔室的真空冷却管道结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223449001U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422216317.0，技术领域涉及：F28D7/10；该实用新型一种适用于真空腔室的真空冷却管道结构是由杨与胜;单洪青;刘义军;郭礼贤设计研发完成，并于2024-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于真空腔室的真空冷却管道结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及真空设备领域，公开了一种适用于真空腔室的真空冷却管道结构，包括热源入口真空管、真空冷却管道和热源出口真空管。真空冷却管道的两端分别与热源入口真空管和热源出口真空管连接，真空冷却管道与热源入口真空管和热源出口真空管的连接处设置有密封圈。真空冷却管道的管壁内部设置有循环冷却水路，真空冷却管道的外壁上设置有与循环冷却水路连接的冷却介质入口和冷却介质出口。本实用新型通过在真空管道内部加工冷却水道，实现冷却介质直接通入真空管道，有效提高冷却接触面积，带走热量，从而降低密封圈的温度，延长使用寿命。该结构适用于PECVD镀膜设备的RPS出口处冷空管道。
本实用新型一种适用于真空腔室的真空冷却管道结构在权利要求书中公布了：1.一种适用于真空腔室的真空冷却管道结构，其特征在于：包括热源入口真空管、真空冷却管道和热源出口真空管；所述真空冷却管道的两端分别与热源入口真空管和热源出口真空管连接，真空冷却管道与热源入口真空管和热源出口真空管的连接处设置有密封圈；所述真空冷却管道的管壁内部设置有循环冷却水路，真空冷却管道的外壁上设置有与循环冷却水路连接的冷却介质入口和冷却介质出口；所述真空冷却管道的外壁内部设置有若干贯穿的轴向水路，轴向水路的上下两端密封固定有水路上封板和水路下封板，所述水路上封板和水路下封板上设置有若干用于连通轴向水路的通水槽，将若干轴向水路连接成一条呈“S”状的循环冷却水路。
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