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龙图腾网获悉上海芯源微企业发展有限公司申请的专利一种晶圆药液供应装置及晶圆处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120637292B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511120406.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆药液供应装置及晶圆处理设备是由伍方玲;彭博;刘鹏;孙晋洲;唐希良设计研发完成，并于2025-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆药液供应装置及晶圆处理设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆药液供应装置及晶圆处理设备，包括混液腔体；供液部分；出液部分；第一清洗管道，第一清洗管道的一端设于混液腔体的底部并与混液腔体连通，另一端用于连接第一供应装置；第一供应装置用于提供清洗液，以使清洗液流经第一清洗管道后进入混液腔体；排液管，设于混液腔体的顶部并与混液腔体连通，以排出混液腔体内的清洗液。晶圆处理设备，包括晶圆药液供应装置、晶圆承载装置和晶圆驱动装置；晶圆承载装置用于承载晶圆；晶圆驱动装置与晶圆承载装置连接，以带动晶圆转动；喷嘴组件对应晶圆承载装置设置，以将处理液喷至晶圆内的表面。本发明能够提升对晶圆药液供应装置的管道清洗效果。

本发明授权一种晶圆药液供应装置及晶圆处理设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆药液供应装置，其特征在于，包括混液腔体100： 供液部分200，设于所述混液腔体100，并与所述混液腔体100连通，以向所述混液腔体100内供应处理液； 出液部分，包括喷嘴组件310和出液单元320，所述出液单元320的一端设于所述混液腔体100，并与所述混液腔体100连通；另一端用于与所述喷嘴组件310连通，以使所述混液腔体100的处理液流经所述出液单元320后进入所述喷嘴组件310； 第一清洗管道410，第一清洗管道410的一端设于所述混液腔体100的底部并与所述混液腔体100连通，另一端用于连接第一供应装置；所述第一供应装置用于提供清洗液，以使清洗液流经所述第一清洗管道410后进入所述混液腔体100； 排液管420，设于所述混液腔体100的顶部并与所述混液腔体100连通，以排出所述混液腔体100内的清洗液； 其中，在所述第一清洗管道410和所述排液管420工作时，所述供液部分200和所述出液部分停止工作，使清洗液自所述混液腔体100的底部朝向所述混液腔体100的顶部运动，以清洗所述混液腔体100。

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