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龙图腾网获悉安徽亦高光电科技有限责任公司申请的专利一种柔性基材的真空镀膜设备及真空镀膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120625009B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511119989.2，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权一种柔性基材的真空镀膜设备及真空镀膜方法是由尤俊衡;艾其波设计研发完成，并于2025-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种柔性基材的真空镀膜设备及真空镀膜方法在说明书摘要公布了：本发明涉及真空镀膜技术领域，具体公开了一种柔性基材的真空镀膜设备及真空镀膜方法，包括镀膜机构和设置在镀膜机构外侧用于卷展柔性基材的卷绕机构，本发明通过调整第一卷绕组件和第二卷绕组件的高度，从而使卷展柔性基材的高度对应进行调整，以适应不同尺寸的柔性基材，同时使柔性基材在第二基板和第三基板之间有相适配的卷展空间，避免影响镀膜的效率，且依旧能使柔性基材内侧和外侧的空间相对分隔开，提高镀膜的均匀性，同时，通过第一镀膜组件、第二镀膜组件和第一连接组件配合，能够联动调整靶材机构的高度，从而使靶材机构以柔性基材的中心位置轰击出靶材原子，进一步提高镀膜的均匀性。

本发明授权一种柔性基材的真空镀膜设备及真空镀膜方法在权利要求书中公布了：1.一种柔性基材的真空镀膜设备，包括真空炉，其特征在于，还包括设置在真空炉内且呈竖直排布的镀膜机构、设置在镀膜机构外侧用于卷展柔性基材的卷绕机构和设置在卷绕机构远离镀膜机构一侧的升降机构，镀膜机构包括： 第一基板，固定设于真空炉的内侧壁，第一基板的顶部固定设有第二基板，第二基板的顶部升降地设置有第三基板，第一基板的顶部设置有以第二基板的中心点呈环形阵列排布的第一引导组件，以对柔性基材的卷展进行引导，第一基板的顶部和第二基板的顶部分别设置有第一镀膜组件和第二镀膜组件，以分别从柔性基材的两侧对其进行镀膜，所述卷绕机构包括： 花键轴，转动设于真空炉的底部内壁，且以第二基板的中心点呈对称排布，两个花键轴的侧壁分别设置有第一卷绕组件和第二卷绕组件，第一卷绕组件包括： 卷绕筒，套设于花键轴的侧壁，花键轴的顶部至真空炉的顶部内壁之间留有安装卷绕筒的间距，所述第三基板的顶部设置有第一连接组件； 所述第一引导组件包括： 第一引导管，转动设于第一基板的顶部，第一基板的顶部移动地设有第二引导管，柔性基材沿第一引导管和第二引导管之间进行卷展，第一引导管和第二引导管的顶部均延伸至真空炉的顶部，所述第二基板和第三基板相互远离的一侧均设置有环形阵列排布的支撑组件，以限制第二引导管的位置，支撑组件包括： 支撑座，固定设于第二基板和第三基板相互远离的一侧，支撑座的顶部开设有贯穿第二基板、第三基板和第一基板的支撑通槽，支撑通槽的两侧内壁均开设有第一滑槽，第一滑槽的内部均放置有第一滑块，所述第二引导管的外壁与第一滑块相互靠近的一侧固定连接，第一滑槽的内部均放置有第一弹簧，以使第二引导管具有向第一引导管靠近的趋势，所述第一镀膜组件和第二镀膜组件相同，且相向设置，以分别从柔性基材的内侧和外侧对其进行镀膜，所述第二镀膜组件包括： 框体，固定设于第二基板的顶部，框体的内侧中端设置有第一传动机构，框体的两侧内壁分别滑动设有第一齿板和第二齿板，第一齿板的顶部与第三基板的底部固定连接，通过第一传动机构使第一齿板和第二齿板沿同一个方向移动； 导杆，呈环形阵列固定设于第二基板的顶部，导杆的侧壁套设有环体，环体的外壁与第二齿板固定连接，两个所述花键轴传动连接，以使两个花键轴同步转动，所述真空炉的底部内壁固定设有用于驱动花键轴转动的第二伺服电机，真空炉的底部内壁且位于第一卷绕组件和第二卷绕组件内侧均设置有第二引导组件，第一卷绕组件和第二卷绕组件相同； 所述升降机构包括： 升降座，固定设于真空炉的底部内壁，升降座的内侧开设有第二滑槽，第二滑槽的内部放置有第二滑块，升降座的内侧设置有用于连接第二滑块和卷绕筒的第二连接组件； 第三伺服电机，固定设于真空炉的顶部，第三伺服电机的输出轴通过联轴器固定设有延伸至第二滑槽内的螺纹杆，螺纹杆与第二滑块螺纹连接； 所述第二连接组件包括： 连接框，固定设于第二滑块的内侧，连接框的顶部设置有第二传动机构，连接框的顶部转动设有第一转杆和第二转杆，第一转杆和第二转杆以连接框的中心点呈对称排布，第一转杆和第二转杆的侧壁分别固定套设有第一齿轮和第二齿轮，第一齿轮和第二齿轮啮合； 第四伺服电机，固定设于连接框的底部，第四伺服电机通过第二传动机构驱动连接框顶部两侧的第一齿轮和第二齿轮同步转动； 卡板，固定设于第一转杆和第二转杆的侧壁，卡板远离第一转杆的一端固定设有外环板，外环板的内侧固定设有内环板； 所述第一连接组件包括： 连接座，固定设于第三基板的顶部，连接座的两侧均开设有限位凹槽，限位凹槽的内壁均套设有连接块和连接板，连接块和连接板相互靠近的一侧固定连接，连接板的侧壁与限位凹槽的内壁止挡配合，限位凹槽的内壁且位于连接板远离连接块的一侧固定设有间隔排布的第三弹簧。

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