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龙图腾网获悉新毅东(北京)科技有限公司申请的专利光刻机突发故障处理方法及光刻机系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120610449B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511106907.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光刻机突发故障处理方法及光刻机系统是由张琪;符友银;邓丽君;姚孝珍设计研发完成，并于2025-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本光刻机突发故障处理方法及光刻机系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种光刻机突发故障处理方法及光刻机系统，方法包括：分析决策引擎接收各监测模块实时采集的第一监测数据，根据第一监测数据确定光刻机系统是否异常，若是，则向传输子系统和曝光子系统发送暂停指令及数据存储指令，存储模块将工作数据存储至存储模块中的非易失存储单元以及离线存储单元，并在存储完成后向分析决策引擎发送存储完成信息，分析决策引擎响应存储完成信息，向电源模块发送断电指令，以使得电源模块停止供电。监测模块实时采集数据，从而可以及时获取光刻机的异常状态，使得分析决策引擎及时触发数据子系统暂停、数据存储以及关机保护的动作，大幅度缩短异常响应时间，降低异常扩大风险，保证设备安全。

本发明授权光刻机突发故障处理方法及光刻机系统在权利要求书中公布了：1.一种光刻机突发故障处理方法，其特征在于，所述方法应用于光刻机系统，所述光刻机系统包括：多个监测模块、分析决策引擎、存储模块、传输子系统、曝光子系统以及电源模块，所述方法包括： 所述分析决策引擎接收各所述监测模块实时采集的第一监测数据，根据所述第一监测数据确定所述光刻机系统是否存在异常，若是，则向所述传输子系统和曝光子系统发送暂停指令以及数据存储指令，所述暂停指令用于指示所述传输子系统以及所述曝光子系统中各分系统暂停工作，所述数据存储指令用于指示所述传输子系统以及所述曝光子系统向存储模块发送工作数据； 所述存储模块将所述工作数据存储至所述存储模块中的非易失存储单元以及离线存储单元，并在存储完成后向所述分析决策引擎发送存储完成信息,当出现离线情况时，将工作数据存储在离线存储单元，当从离线情况恢复时，将离线存储单元中缓存的数据同步到非易失存储单元中； 所述分析决策引擎响应所述存储完成信息，向所述电源模块发送断电指令，以使得所述电源模块停止供电； 所述方法还包括： 所述分析决策引擎接收各所述监测模块实时采集的第二监测数据，根据所述第二监测数据确定所述光刻机系统是否恢复正常，若是，则向所述电源模块发送供电指令，并控制各所述监测模块进行校准并控制传输子系统进行自检，并从所述存储模块中获取所述工作数据，基于所述工作数据控制所述传输子系统以及所述曝光子系统进行断点续曝处理，以使得所述光刻机系统继续异常前动作； 所述基于所述工作数据控制所述传输子系统以及所述曝光子系统进行断点续曝处理，包括： 判断所述传输子系统以及所述曝光子系统是否满足续曝条件； 若是，则获取所述曝光子系统以及所述传输子系统的当前数据； 基于所述工作数据以及所述当前数据，控制所述传输子系统以及所述曝光子系统进行断点续曝处理； 所述判断所述传输子系统以及所述曝光子系统是否满足续曝条件，包括： 确定故障等级； 确定所述故障等级在修复案例库中对应的续曝约束，并判断所述监测模块以及所述传输子系统的自检以及校准结果是否符合所述续曝约束； 若是，则确定所述传输子系统以及所述曝光子系统满足续曝条件。

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