苏州大学曹冰获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州大学申请的专利氮化物薄膜及其远程外延方法和半导体器件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120608324B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511121351.2，技术领域涉及：C30B25/18；该发明授权氮化物薄膜及其远程外延方法和半导体器件是由曹冰;夏天;刘淼设计研发完成，并于2025-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本氮化物薄膜及其远程外延方法和半导体器件在说明书摘要公布了：本发明公开了一种氮化物薄膜及其远程外延方法和半导体器件，氮化物薄膜的远程外延方法包括如下步骤：将石墨烯覆盖到衬底上，保证石墨烯与衬底之间的相对转角为0±0.1°；在所述石墨烯上远程外延生长氮化物薄膜；所述衬底的晶体结构中具有m面，所述石墨烯的晶体结构中具有m面，二者的m面相互平行时，使得石墨烯与衬底之间的相对转角为0±0.1°；m面为晶体结构中密勒指数10‑10的晶面。本发明的氮化物薄膜的远程外延方法，通过控制石墨烯与衬底之间的相对转角为0±0.1°，增强二者之间的相互作用，从而实现高质量的远程外延生长，解决现有技术中远程外延层生长质量不佳的问题。
本发明授权氮化物薄膜及其远程外延方法和半导体器件在权利要求书中公布了：1.一种氮化物薄膜的远程外延方法，其特征在于，包括如下步骤： 将石墨烯覆盖到衬底上，保证石墨烯与衬底之间的相对转角为0±0.1°； 在所述石墨烯上远程外延生长氮化物薄膜；所述衬底的晶体结构中具有m面，所述石墨烯的晶体结构中具有m面，二者的m面相互平行时，使得石墨烯与衬底之间的相对转角为0±0.1°；m面为晶体结构中密勒指数10-10的晶面。
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