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龙图腾网获悉无锡卓海科技股份有限公司申请的专利一种光声膜厚量测设备及晶圆角度对准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120558101B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511046316.9，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种光声膜厚量测设备及晶圆角度对准方法是由胡杨;相宇阳;俞胜武设计研发完成，并于2025-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光声膜厚量测设备及晶圆角度对准方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光声膜厚量测设备及晶圆角度对准方法。该光声膜厚量测设备包括晶圆载台、运动平台、探针光发射器、探针光探测器和控制器；晶圆载台用于承载晶圆，晶圆包括缺口；运动平台与晶圆载台相连；探针光发射器发射的探针光经晶圆的边缘表面或晶圆载台反射后入射至探针光探测器；控制器分别与运动平台和探针光探测器通信连接，用于控制运动平台带动晶圆载台及其上的晶圆一起运动，获取运动平台的旋转信息和探针光探测器根据接收到的探针光生成的探测信号，并根据获取到的探测信号和旋转信息确定缺口偏离预设缺口的偏离角度，并根据偏离角度消除缺口与预设缺口之间的偏离角度。本发明可降低晶圆角度对准的成本。

本发明授权一种光声膜厚量测设备及晶圆角度对准方法在权利要求书中公布了：1.一种光声膜厚量测设备，其特征在于，包括晶圆载台、运动平台、探针光发射器、探针光探测器和控制器； 所述晶圆载台用于承载晶圆，所述晶圆包括缺口；所述运动平台与所述晶圆载台相连；所述控制器与所述运动平台通信连接，用于控制所述运动平台带动所述晶圆载台及所述晶圆载台上的所述晶圆一起运动，并获取所述运动平台的旋转信息；所述控制器先控制所述运动平台移动以使所述探针光发射器发射的探针光聚焦在晶圆的边缘，再控制所述运动平台带动所述晶圆旋转一周； 在所述运动平台旋转的过程中，所述探针光发射器发射的探针光能够入射至所述晶圆的边缘表面或穿过所述缺口入射至所述晶圆载台，经所述晶圆的边缘表面或所述晶圆载台反射后入射至所述探针光探测器，所述探针光探测器用于根据接收到的所述探针光生成探测信号； 所述控制器还与所述探针光探测器通信连接，用于根据获取到的所述探测信号和所述旋转信息确定所述缺口偏离预设缺口的偏离角度，并根据所述偏离角度消除所述缺口与所述预设缺口之间的偏离角度。

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