江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司梁德富获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司申请的专利抽风系统及电镀设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120537012B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511037831.0,技术领域涉及:C25D21/04;该发明授权抽风系统及电镀设备是由梁德富;田玉峰设计研发完成,并于2025-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本抽风系统及电镀设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种抽风系统及电镀设备,涉及半导体制造技术领域。在第一方向上,相互对应的两层电镀空间的电镀腔体对应设置一个抽风装置,且抽风装置在第一方向上连接下层电镀腔体的底部安装面与上层电镀腔体的顶部安装面,以使抽风装置的高度覆盖两层电镀空间的电镀腔体。在第二方向上,抽风装置分别连接相互对应设置的两层电镀空间的电镀腔体的前后两侧安装面,以使抽风装置的宽度覆盖相互对应设置的两层电镀空间的电镀腔体。抽风装置靠近电镀腔体的一侧对应设置有分别连接两层电镀空间的电镀腔体的抽风口,抽风装置能够通过抽风口同时对两层电镀空间的电镀腔体进行抽风,以将电镀期间和或非电镀期间电镀腔体产生的废气抽出到外部。
本发明授权抽风系统及电镀设备在权利要求书中公布了:1.抽风系统,用于电镀设备,所述电镀设备内设置有两层电镀空间,每层所述电镀空间均设置有至少一组电镀腔体201,上层电镀空间的电镀腔体201与下层电镀空间的电镀腔体201在第一方向上相互对应,且一组电镀腔体201包括两个并排设置的电镀腔体201,其特征在于, 在第一方向上相互对应设置的两层电镀空间的电镀腔体201对应设置一个抽风装置,且所述抽风装置在第一方向上连接下层电镀空间的电镀腔体201的底部安装面与上层电镀空间的电镀腔体201的顶部安装面,以使所述抽风装置的高度在第一方向上覆盖两层电镀空间的电镀腔体201; 在第二方向上所述抽风装置分别连接相互对应设置的两层电镀空间的电镀腔体201的前后两侧安装面,以使所述抽风装置的宽度在第二方向上覆盖两层电镀空间的电镀腔体201; 所述抽风装置靠近所述电镀腔体201的一侧对应设置有分别连接位于不同层电镀空间的电镀腔体201的抽风口,所述抽风装置能够通过所述抽风口同时对不同层电镀空间的电镀腔体201进行抽风,以将电镀期间和或非电镀期间所述电镀腔体201产生的废气抽出到外部; 所述抽风装置还包括转接盒3,所述转接盒3设于一组电镀腔体201的下方,所述转接盒3连接两个电镀腔体201的排气通道和所述抽风口,电镀腔体201的排气通道自电镀腔体201的底部延伸至顶部。
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