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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利用于芯片键合的光学对准装置及其对准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120527288B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511034518.1，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权用于芯片键合的光学对准装置及其对准方法是由曹艳波;钟志成;戴深宇;马章宇;岑洎涛;王芳;田兴志设计研发完成，并于2025-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于芯片键合的光学对准装置及其对准方法在说明书摘要公布了：本发明涉及芯片键合技术领域，具体公开了一种用于芯片键合的光学对准装置及其对准方法，其中，装置包括：DUV激光器、第一镜组、第二镜组、内双向反射棱镜、第一DUV物镜、第二DUV物镜和成像组件；该装置通过引入DUV激光光源及配套DUV物镜，显著提升了系统的光学分辨率，满足高精度对准需求；同时，创新性地采用内双向反射棱镜结合两个DUV物镜构建双路光路结构，有效解决了上下表面的同时对准问题，提升了系统处理双面对准工况的适配性；并通过其成像组件对两路样品光信号进行同步采集，一次性获取晶圆和芯片的图像，彻底消除了时间漂移和运动因素对准精度的影响，从而在硬件层面保障了对准精度的全面提升。

本发明授权用于芯片键合的光学对准装置及其对准方法在权利要求书中公布了：1.一种用于芯片键合的光学对准装置，用于同时获取晶圆和芯片位置以进行对准键合，其特征在于，所述装置包括：DUV激光器、第一镜组、第二镜组、内双向反射棱镜、第一DUV物镜、第二DUV物镜和成像组件； 所述DUV激光器输出端分别通过两根导光光纤将激光分别传递至所述第一镜组和所述第二镜组； 所述第一DUV物镜和所述第二DUV物镜分别设置在所述内双向反射棱镜两侧，且朝向相反； 所述内双向反射棱镜用于将所述第一镜组和所述第二镜组输出的激光分别反射至所述第一DUV物镜和所述第二DUV物镜以投射至样品上； 所述内双向反射棱镜还用于将所述第一DUV物镜和所述第二DUV物镜接收的样品光分别反射至所述第一镜组和所述第二镜组，使所述第一镜组和所述第二镜组将所述样品光反射至所述成像组件中； 第一镜组和第二镜组均包括依照激光传递方向依次设置的光纤耦合准直镜、第一反射棱镜、透镜组和第一分光棱镜，所述第一分光棱镜用于将激光输出至所述内双向反射棱镜，以及用于将所述样品光反射至所述成像组件中； 所述装置还包括准直组件，所述第一镜组和第二镜组还包括设置于所述第一反射棱镜和所述透镜组之间的第二分光棱镜，所述第二分光棱镜还用于将所述样品光经过所述第一分光棱镜和所述透镜组的光线部分反射至所述准直组件。

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