深圳市道格特科技有限公司蒋文德获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市道格特科技有限公司申请的专利探针卡测试母板的校准方法、装置及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120506927B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510993415.1,技术领域涉及:G01C9/00;该发明授权探针卡测试母板的校准方法、装置及系统是由蒋文德;娄兆一;邱雄设计研发完成,并于2025-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本探针卡测试母板的校准方法、装置及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种探针卡测试母板的校准方法、装置及系统,该方法包括当控制第一固定件带动测量装置的测量头插入一个第一通孔;控制测试卡盘运动,以使测试卡盘与测量头接触并使测量头产生位移;获取测量装置的第一测量值;控制第一固定件带动测量装置的测量头依次插入其他的至少两个第一通孔,并依次获取测量装置的多个第一测量值;基于所有第一测量值控制调平机构将探针卡测试母板调整至与测试卡盘平行。本申请通过基于所有第一测量值控制调平机构将探针卡测试母板调整至与测试卡盘平行,能够提高探针卡测试母板与测试卡盘平行的程度,从而减少后续在采用测试卡盘对探针卡进行测试时出现测试结果失真或探针卡损伤的情况。
本发明授权探针卡测试母板的校准方法、装置及系统在权利要求书中公布了:1.一种探针卡测试母板的校准方法,其特征在于, 所述探针卡测试母板的校准装置包括主体和设置于所述主体上的至少三个第一通孔,所述第一通孔用于插入测量装置的测量头; 所述探针卡测试母板的校准方法包括: 当已安装探针卡和所述校准装置的探针卡测试母板固定于探针测试系统的调平机构上,且所述测量装置已固定于第一固定件时,控制所述第一固定件带动所述测量装置的测量头插入一个所述第一通孔,其中,所述第一固定件用于使所述测量装置的主体位于与所述校准装置平行的平面上; 控制所述探针测试系统的测试装置的测试卡盘运动,以使所述测试卡盘与所述测量头接触并使所述测量头产生位移; 获取所述测量装置的第一测量值;其中,所述第一测量值为当前的测试卡盘靠近所述探针卡测试母板的表面所在平面与所述探针卡测试母板靠近测试卡盘的表面所在平面的距离减去标准距离,所述标准距离为所述测量头未接触所述测试卡盘时超出所述探针卡测试母板的表面的距离; 控制所述第一固定件带动所述测量装置的测量头依次插入其他的至少两个所述第一通孔,并依次获取所述测量装置的多个第一测量值; 基于所有所述第一测量值控制所述调平机构将所述探针卡测试母板调整至与所述测试卡盘平行。
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