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龙图腾网获悉北京智创芯源科技有限公司申请的专利一种液相外延工装及利用其液相外延生长薄膜的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120485941B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510737888.5，技术领域涉及：C30B19/06；该发明授权一种液相外延工装及利用其液相外延生长薄膜的方法是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种液相外延工装及利用其液相外延生长薄膜的方法在说明书摘要公布了：本申请涉及液相外延生长技术领域，公开了一种液相外延工装及利用其液相外延生长薄膜的方法，工装包括底座、滑条、可脱落支撑部件、母液板和盖板，可脱落支撑部件包括套设的内芯和外圈；母液板设有用于盛放母液的母液槽；底座设有与滑条配合的第一凹槽，底座的上表面设有第二凹槽；滑条位于第一凹槽中，滑条设有贯穿厚度的通孔，可脱落支撑部件位于通孔中，可脱落支撑部件的上表面用于放置衬底；第二凹槽的深度不小于衬底的厚度，第二凹槽的宽度与外圈的厚度相匹配，外圈随着滑条移动至第二凹槽上方时落入第二凹槽中，使衬底的边缘凸出于内芯；母液板位于底座和滑条的上表面。该工装可以在母液处于熔融状态时将薄膜与周围断开，提升薄膜的成品率。

本发明授权一种液相外延工装及利用其液相外延生长薄膜的方法在权利要求书中公布了：1.一种液相外延工装，其特征在于，包括： 底座、滑条、可脱落支撑部件、母液板和盖板，所述可脱落支撑部件包括套设的内芯和外圈；所述母液板设有用于盛放母液的母液槽； 所述底座设有与所述滑条配合的第一凹槽，所述底座的上表面设有第二凹槽； 所述滑条位于所述第一凹槽中，所述滑条设有贯穿厚度的通孔，所述可脱落支撑部件位于所述通孔中，所述可脱落支撑部件的上表面用于放置衬底； 所述第二凹槽的深度不小于所述衬底的厚度，所述第二凹槽的宽度与所述外圈的厚度相匹配，所述外圈随着所述滑条移动至所述第二凹槽上方时落入所述第二凹槽中，使所述衬底的边缘凸出于所述内芯； 所述母液板位于所述底座和所述滑条的上表面，所述盖板位于所述母液板的上表面； 所述外圈的上表面具有台阶面，所述外圈的高度与所述滑条的厚度相等，所述内芯的高度小于所述外圈的高度，所述内芯和所述外圈的高度差以及所述台阶面的高度差均等于所述衬底的厚度。

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