成都工业学院蒋薇获国家专利权
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龙图腾网获悉成都工业学院申请的专利基于多波长干涉与莫尔条纹耦合的运动精度检测系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120467187B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510961357.4,技术领域涉及:G01B11/00;该发明授权基于多波长干涉与莫尔条纹耦合的运动精度检测系统及方法是由蒋薇;王楠设计研发完成,并于2025-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于多波长干涉与莫尔条纹耦合的运动精度检测系统及方法在说明书摘要公布了:本发明提供基于多波长干涉与莫尔条纹耦合的运动精度检测系统及方法,涉及光学测量领域,该系统包括:莫尔条纹对准与标定模块,包括参考光栅、测量光栅和标定光电探测器;多个自由度的运动检测模块;其中,X轴平移运动检测模块包括:X轴多波长光源单元,用于提供一束X轴多波长激光;X轴光学干涉单元,包括X轴分光器和X轴反射镜,X轴多波长激光沿X轴方向投射到工件台的X轴反射镜上,反射光与参考光在X轴分光器上叠加,形成X轴干涉条纹;信号采集模块,用于同时捕捉信号;信号处理模块,用于基于捕捉的信号,计算工件台的多自由度运动参数,进行运动精度检测,具有在复杂工业环境中实现对工件台多自由度运动的高精度测量的优点。
本发明授权基于多波长干涉与莫尔条纹耦合的运动精度检测系统及方法在权利要求书中公布了:1.基于多波长干涉与莫尔条纹耦合的运动精度检测系统,其特征在于,包括: 莫尔条纹对准与标定模块,包括参考光栅、测量光栅和标定光电探测器,参考光栅固定在工件台的参考面上,测量光栅固定在工件台的运动部件上,通过莫尔条纹的周期特性,完成莫尔条纹对准和波长标定; X轴平移运动检测模块、Y轴平移运动检测模块、Z轴平移运动检测模块、俯仰运动检测模块、偏航检测模块及滚转运动检测模块; 所述X轴平移运动检测模块包括: X轴多波长光源单元,用于提供一束X轴多波长激光; X轴光学干涉单元,包括X轴分光器和X轴反射镜,X轴多波长激光沿X轴方向投射到工件台的X轴反射镜上,反射光与参考光在X轴分光器上叠加,形成X轴干涉条纹; 信号采集模块,用于同时捕捉莫尔条纹信号、X轴干涉条纹、Y轴干涉条纹、Z轴干涉条纹、俯仰干涉条纹、偏航干涉条纹及滚转干涉条纹; 信号处理模块,用于基于莫尔条纹信号、X轴干涉条纹、Y轴干涉条纹、Z轴干涉条纹、俯仰干涉条纹、偏航干涉条纹及滚转干涉条纹,计算工件台的多自由度运动参数,进行运动精度检测,具体包括: 采用小波变换-卷积神经网络混合降噪模型,对莫尔条纹信号、X轴干涉条纹、Y轴干涉条纹、Z轴干涉条纹、俯仰干涉条纹、偏航干涉条纹及滚转干涉条纹进行小波分解,对小波分解后的莫尔条纹信号、X轴干涉条纹、Y轴干涉条纹、Z轴干涉条纹、俯仰干涉条纹、偏航干涉条纹及滚转干涉条纹分别进行特征提取,通过注意力机制动态分配降噪权重,保留有效相位信息; 通过基于图神经网络的相位解包裹算法,将有效相位信息构建为图结构,节点为相位采样点,边表示空间相关性; 利用图神经网络,学习图结构的相位跳变路径,生成各个自由度对应的相位数据; 采用同步解算算法对多自由度的相位数据进行融合处理,计算工件台的多自由度运动参数; 其中,图神经网络在相位跳变区域,通过图注意力机制自动增强跨跳变边连接,采用残差学习策略,直接预测相位跳变修正量: 其中,为经过处理后得到的连续相位,为相位跳变修正量,K为整数跳变次 数,为缠绕相位; 图神经网络的损失函数为相位连续性损失、梯度一致性损失及环路径积分损失加权求和函数,其中,相位连续性损失为: 梯度一致性损失: 其中,为梯度一致性损失,为对位置i预测的解缠绕相位值,为对 位置j预测的解缠绕相位值,为位置i的真实解缠绕相位值,为位置j的真实解 缠绕相位值; 环路径积分损失: 其中,为环路径积分损失,为预测的解缠绕相位,为预测的解缠绕 相位的梯度,dl为积分路径C上的微元长度。
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