湖北大学马国坤获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北大学申请的专利一种基于Ti-Cu合金电极的CBRAM器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120358934B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510837328.7,技术领域涉及:H10N70/20;该发明授权一种基于Ti-Cu合金电极的CBRAM器件及其制备方法是由马国坤;王金龙;艾晨;王浩;李经伟;万厚钊;饶毅恒设计研发完成,并于2025-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于Ti-Cu合金电极的CBRAM器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种基于Ti‑Cu合金电极的CBRAM器件及其制备方法。本发明基于Ti‑Cu合金电极的CBRAM器件,包括衬底、第一电极、阻变层、第二电极;其中,第一电极、第二电极的材料为活性电极材料或惰性电极材料,当第一电极的材料为活性电极材料时,第二电极的材料为惰性电极材料;当第一电极的材料为惰性电极材料时,第二电极的材料为活性电极材料;活性电极材料为Ti‑Cu合金,使用Ti‑Cu合金电极取代Cu电极,限制了从电极注入的形成导电细丝的Cu原子的数量,可大大提高CBRAM器件的耐久性。
本发明授权一种基于Ti-Cu合金电极的CBRAM器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于Ti-Cu合金电极的CBRAM器件,其特征在于,包括: 衬底; 第一电极,其位于所述衬底表面; 阻变层,位于所述第一电极远离所述衬底的表面; 第二电极,其阵列设置于所述阻变层远离所述衬底的表面; 其中,所述第一电极、第二电极的材料为活性电极材料或惰性电极材料,当所述第一电极的材料为活性电极材料时,所述第二电极的材料为惰性电极材料;当所述第一电极的材料为惰性电极材料时,所述第二电极的材料为活性电极材料; 所述活性电极材料为Ti-Cu合金; 所述阻变层的材料包括氧化铪、氧化硅、氧化锆、碲化锗、硒化锗中的任一种; 所述Ti-Cu合金中Cu的质量分数为22~99%,余下的为Ti; 所述惰性电极材料包括Ti、Pt、W、TiN中的至少一种。
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