北京中科飞龙传感技术有限责任公司;中科飞龙(北京)智能科技有限公司高文斌获国家专利权
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龙图腾网获悉北京中科飞龙传感技术有限责任公司;中科飞龙(北京)智能科技有限公司申请的专利一种谐振式电场传感器及检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120161251B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510431949.5,技术领域涉及:G01R29/12;该发明授权一种谐振式电场传感器及检测方法是由高文斌;闻小龙;王宙玺;吴双设计研发完成,并于2025-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种谐振式电场传感器及检测方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种谐振式电场传感器及检测方法,其中,敏感结构包括第一振动部、第二振动部、处于不同平面、且位于第一振动部与第二振动部之间的第一感应电极与第二感应电极,第一振动部与第二振动部周期性振动屏蔽第一感应电极与第二感应电极时,以产生存在信号差值的第一电流信号与第二电流信号,其中:第一振动部包括第一振动梁与第一屏蔽结构,第一屏蔽结构覆盖第一感应电极和或第二感应电极的至少一部分,第二振动部包括第二振动梁与第二屏蔽结构,第二屏蔽结构覆盖第一感应电极和或第二感应电极的至少一部分。本发明可以增加第一感应电极与第二感应电极的敏感度,从而提高第一电流信号与第二电流信号的强度与准确性。
本发明授权一种谐振式电场传感器及检测方法在权利要求书中公布了:1.一种谐振式电场传感器,包括用于感应电荷的敏感结构,所述敏感结构包括第一振动部、第二振动部、驱动电极、反馈电极与锚点,其特征在于,还至少设有处于不同平面、且位于所述第一振动部与所述第二振动部之间的第一感应电极与第二感应电极,所述第一振动部与所述第二振动部周期性振动屏蔽所述第一感应电极与所述第二感应电极时,以产生存在信号差值的第一电流信号与第二电流信号,其中: 所述第一振动部包括第一振动梁、以及与其连接的第一屏蔽结构,所述第一屏蔽结构覆盖所述第一感应电极和或所述第二感应电极的至少一部分,所述第二振动部包括第二振动梁、以及与其连接的第二屏蔽结构,所述第二屏蔽结构覆盖所述第一感应电极和或所述第二感应电极的至少一部分,所述第一屏蔽结构与所述第二屏蔽结构用于提高所述第一感应电极与所述第二感应电极的敏感度; 其中,所述第一屏蔽结构为屏蔽电极a,所述第二屏蔽结构为屏蔽电极b,所述屏蔽电极a与所述屏蔽电极b处于同一平面,其中: 所述屏蔽电极a覆盖在所述第一感应电极的顶部端面,所述屏蔽电极b覆盖在所述第二感应电极的顶部端面,所述屏蔽电极a与所述屏蔽电极b前后间隔设置; 或者,所述屏蔽电极a覆盖在所述第二感应电极的顶部端面,所述屏蔽电极b覆盖在所述第一感应电极的顶部端面,所述屏蔽电极a与所述屏蔽电极b前后间隔设置; 或者,所述屏蔽电极a覆盖所述第一感应电极与所述第二感应电极的顶部端面的一部分,所述屏蔽电极b覆盖所述第一感应电极与所述第二感应电极的顶部端面的一部分,所述屏蔽电极a与所述屏蔽电极b位于中心轴线的两侧,在所述屏蔽电极a与所述屏蔽电极b之间形成有预留间隔。
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