清华大学于荣获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学申请的专利结合局域轨道和平面波的电子叠层成像方法、装置及设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119985566B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510173380.7,技术领域涉及:G01N23/20058;该发明授权结合局域轨道和平面波的电子叠层成像方法、装置及设备是由于荣;刘宇浩设计研发完成,并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本结合局域轨道和平面波的电子叠层成像方法、装置及设备在说明书摘要公布了:本申请涉及扫描透射电子显微技术领域,特别涉及一种结合局域轨道和平面波的电子叠层成像方法、装置及设备,方法包括:获取电子束扫描样品时位于每个扫描位置时产生的实际衍射强度;初始化所有扫描位置的待优化参数;计算所有扫描位置的束斑函数以及样品各层的势函数分布;根据束斑函数和势函数分布计算衍射强度,根据实际衍射强度和计算衍射强度计算损失函数的损失值,利用损失值更新待优化参数直到损失函数收敛,结合了局域轨道在表示高空间频率信息的优势与平面波在表示低空间频率的优势,获得了更精确的样品势函数。由此,解决了相关技术缺乏同时精确表示高频和低频信息的能力,难以进行相位的高精度重构的问题。
本发明授权结合局域轨道和平面波的电子叠层成像方法、装置及设备在权利要求书中公布了:1.一种结合局域轨道和平面波的电子叠层成像方法,其特征在于,包括以下步骤: 获取电子束扫描样品时位于每个扫描位置时产生的实际衍射强度; 初始化所有扫描位置的待优化参数,其中,所述待优化参数包括局域轨道展开系数、平面波傅里叶系数、各阶像差系数和电子束强度; 根据所述各阶像差系数和所述电子束强度计算所有扫描位置的束斑函数,根据所述局域轨道展开系数和所述平面波傅里叶系数计算所述样品各层的势函数分布; 根据所述束斑函数和所述势函数分布计算衍射强度,根据所述实际衍射强度和所述衍射强度计算损失函数的损失值,利用所述损失值更新所述待优化参数直到所述损失函数收敛至目标值; 利用所述损失函数收敛后的样品各层的势函数分布实现电子叠层成像。
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