先导薄膜材料(江苏)有限公司聂全义获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(江苏)有限公司申请的专利一种ITO残靶回收方法及ITO靶材获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119954507B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510017798.9，技术领域涉及：C04B35/453；该发明授权一种ITO残靶回收方法及ITO靶材是由聂全义;张亚博;李帅;刘仁宇;蔡新志;余芳;李春生设计研发完成，并于2025-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种ITO残靶回收方法及ITO靶材在说明书摘要公布了：本申请属于金属回收技术领域，公开了一种ITO残靶回收再利用的方法，包含以下步骤：将ITO颗粒与锡液混合，得到混合物；将混合物放入坩埚中气化，得到混合气体；将混合气体收集、冷却、结晶，过筛，得到ITO粉体；添加锡液在有氧环境下使锡成为氧化锡，进而造成混合气体中氧化锡含量增多，以此避免收集气体时氧化锡率先冷凝造成的损失，达到补充氧化锡的目的；而且锡液与ITO残靶颗粒充分混合，可以提升颗粒的流动性，从而能够在气化过程中保持稳定的电压，快速起弧升温能够使粉体更好的气化，并通过调节抽风罩的高度进行气体的收集，提升粉体的均匀性；此外，本申请还公开了一种ITO靶材，由上述方法制得的ITO粉体制得。
本发明授权一种ITO残靶回收方法及ITO靶材在权利要求书中公布了：1.一种ITO残靶回收方法，其特征在于，包含以下步骤： 步骤1：将ITO颗粒与锡液混合，得到混合物； 步骤2：将混合物放入坩埚并在有氧环境下加热使混合物气化，得到混合气体； 步骤3：将混合气体收集、冷却、结晶，过筛，得到ITO粉体； 其中，所述步骤1中ITO颗粒与锡液的质量比为90～99：10～1； 所述坩埚上固定着距离坩埚内部混合物表面为5～20cm的抽风罩。
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