深圳市新凯来工业机器有限公司樊志强获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利等离子体处理装置及刻蚀设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119920673B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411847901.4，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子体处理装置及刻蚀设备是由樊志强;杨金全设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体处理装置及刻蚀设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种等离子体处理装置及刻蚀设备，涉及半导体技术领域。等离子体处理装置包括衬套、遮挡板、驱动机构和止位件；衬套的侧壁具有开口，遮挡板与驱动机构连接，驱动机构可控制遮挡板升降，以将开口遮挡；止位件安装在衬套和遮挡板之间。通过驱动机构控制遮挡板对衬套的开口遮挡时，止位件对遮挡板进行限位，使得在遮挡板的升降方向上，遮挡板和衬套之间具有预设间隙，从而使得遮挡板与衬套不接触，避免在遮挡板升降过程中，出现遮挡板与衬套碰撞，进而可以保证等离子体处理装置的部件的功能，且能够减少等离体处理装置的反应空间中的污染物。
本发明授权等离子体处理装置及刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括衬套、遮挡板、驱动机构和止位件； 所述衬套的侧壁具有开口，所述遮挡板与所述驱动机构连接，所述驱动机构用于控制所述遮挡板沿着垂直于所述等离子体处理装置的底部方向上升或下降，以将所述开口遮挡； 所述止位件安装在所述衬套和所述遮挡板之间，所述止位件被构造为在所述遮挡板遮挡所述开口时，对所述遮挡板进行限位，以使所述遮挡板和所述衬套在所述遮挡板的升降方向上具有预设间隙； 所述遮挡板具有止位面，所述衬套具有配合面，所述止位面和所述配合面在所述遮挡板的升降方向上相对设置，所述止位件固定在所述止位面和或所述配合面上； 所述遮挡板具有第一端和第二端，所述第一端和所述第二端在所述遮挡板的升降方向上相对设置，所述第一端与所述驱动机构连接，所述衬套具有固定端，所述固定端与所述第二端在所述遮挡板的升降方向上相对设置，所述固定端设置有固定面； 在所述遮挡板遮挡所述开口时，所述第二端与所述固定面之间的间隙为所述预设间隙。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市新凯来工业机器有限公司，其通讯地址为：518111 广东省深圳市龙岗区平湖街道山厦社区中环大道中科谷产业园6栋1301；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励