上海交通大学肖文德获国家专利权
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龙图腾网获悉上海交通大学申请的专利一种节能的高纯甲硅烷生产系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119896865B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311400179.5，技术领域涉及：B01D3/00；该发明授权一种节能的高纯甲硅烷生产系统及方法是由肖文德;阎建民;李学刚;刘成伟设计研发完成，并于2023-10-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种节能的高纯甲硅烷生产系统及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种节能的高纯甲硅烷生产系统及方法，所述系统包括四个精馏塔，其中两个精馏塔是装填有氯硅烷歧化催化剂的反应精馏塔，两个是普通精馏塔；所述方法包括如下步骤：低压反应精馏，中压反应精馏，高压精制。与现有技术相比，本发明通过三级增压和多级梯级冷凝的优化组合，尤其有利于甲硅烷的大规模生产；通过由氯硅烷包括三氯硅烷和二氯硅烷，通过催化歧化制备高纯硅烷的工艺和方法，实现低能耗和低投资，且适合大规模生产。
本发明授权一种节能的高纯甲硅烷生产系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种节能的高纯甲硅烷生产系统，其特征在于，所述系统包括第一反应精馏塔100、第二反应精馏塔200、第一普通精馏塔300、第二普通精馏塔400； 所述第一反应精馏塔100、第二反应精馏塔200、第一普通精馏塔300、第二普通精馏塔400依次连接； 所述第二普通精馏塔400与第二反应精馏塔200连接； 所述第一反应精馏塔100和第二反应精馏塔200均装填有氯硅烷歧化催化剂； 所述第一反应精馏塔100是低压塔，其操作压力小于1.0Mpa； 所述第二反应精馏塔200为中压塔，其操作压力是所述第一反应精馏塔100的1.5-3.0倍； 所述第一普通精馏塔300、第二普通精馏塔400都是高压塔，其操作压力是所述第二反应精馏塔200的1.5-3.0倍。
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