西安交通大学潘毅获国家专利权
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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种镂空掩模电极沉积样品架及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119876843B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411335394.6,技术领域涉及:C23C14/04;该发明授权一种镂空掩模电极沉积样品架及方法是由潘毅;赵延鲁;刘逸凡;张又麒;胡永琪;张旭涛设计研发完成,并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种镂空掩模电极沉积样品架及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种镂空掩模电极沉积样品架及方法,包括连接托盘、可移动样品台和掩模版夹;滑轨连接件底部与X直线滑轨在X方向上滑动连接,样品台底部与滑轨连接件顶部在Y方向上滑动连接;滑轨连接件设置有X向贯穿螺孔,X调节螺杆螺纹一端安装在滑轨连接件的X向贯穿螺孔中,另一端设置在X夹持装置中;样品台设置有Y向贯穿螺孔,Y调节螺杆螺纹一端安装在样品台的Y向贯穿螺孔中,另一端设置在Y夹持装置中;掩模版夹固定螺柱高于样品台,掩模版夹与掩模版夹固定螺柱顶部连接。以满足在利用免光刻工艺给转移单晶岛二维材料与生长单晶岛二维材料沉积电极时的精度要求。
本发明授权一种镂空掩模电极沉积样品架及方法在权利要求书中公布了:1.一种镂空掩模电极沉积样品架,其特征在于,包括连接托盘1、可移动样品台2和掩模版夹3; 连接托盘1上设有真空腔体连接件111、X直线滑轨112、掩模版夹固定螺柱113和X夹持装置,可移动样品台2包括滑轨连接件211、X调节螺杆212、Y调节螺杆213、Y夹持装置和样品台214; 滑轨连接件211底部与X直线滑轨112在X方向上滑动连接,样品台214底部与滑轨连接件211顶部在Y方向上滑动连接;滑轨连接件211设置有X向贯穿螺孔,X调节螺杆212螺纹一端安装在滑轨连接件211的X向贯穿螺孔中,另一端设置在X夹持装置中;样品台214设置有Y向贯穿螺孔,Y调节螺杆213螺纹一端安装在样品台214的Y向贯穿螺孔中,另一端设置在Y夹持装置中; 掩模版夹固定螺柱113高于样品台214,掩模版夹3与掩模版夹固定螺柱113顶部连接; 掩模版夹3包括掩膜夹顶31、掩模版夹底32和掩模版底版33,掩模版夹底32中心有与掩模版相当大小的镂空,掩膜版底版33镂空部分小于掩模版尺寸,掩膜版底版33固定在掩模版夹底32底部中心,掩模版夹顶31中心有与掩模版底版33相同大小的镂空; 掩模版夹顶31在镂空两侧设有对称的压条311。
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