深圳市新凯来工业机器有限公司吴琼获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利基于量测标记点的晶圆量测方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119852200B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411998949.5，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权基于量测标记点的晶圆量测方法和装置是由吴琼;朱烨设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于量测标记点的晶圆量测方法和装置在说明书摘要公布了：本申请实施例公开了一种基于量测标记点的晶圆量测方法和装置，包括：获取目标晶圆多个量测标记点的晶圆对准坐标；对多个量测标记点中多个第一量测标记点进行目标捕获以获得各个第一量测标记点的坐标偏移量，基于各个第一量测标记点的晶圆对准坐标和坐标偏移量获得各个第一量测标记点的第一目标捕获坐标；将多个量测标记点中除多个第一量测标记点之外的多个第二量测标记点的晶圆对准坐标输入目标捕获坐标预测模型以输出各个第二量测标记点的第二目标捕获坐标；基于各个第一目标捕获坐标量测多个第一量测标记点，并基于各个第二目标捕获坐标对多个第二量测标记点进行量测，以实现对目标晶圆的晶圆量测，标记定位时间短，对标记点的量测速度快。
本发明授权基于量测标记点的晶圆量测方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种基于量测标记点的晶圆量测方法，其特征在于，包括： 获取目标晶圆的多个量测标记点的晶圆对准坐标； 对所述多个量测标记点中的多个第一量测标记点进行目标捕获以获得各个所述第一量测标记点的坐标偏移量，基于各个所述第一量测标记点的所述晶圆对准坐标和所述坐标偏移量获得各个所述第一量测标记点的第一目标捕获坐标； 将所述多个量测标记点中除所述多个第一量测标记点之外的多个第二量测标记点的所述晶圆对准坐标输入目标捕获坐标预测模型，通过所述目标捕获坐标预测模型输出各个所述第二量测标记点的第二目标捕获坐标； 基于各个所述第一量测标记点的所述第一目标捕获坐标对所述多个第一量测标记点进行量测，并基于各个所述第二量测标记点的所述第二目标捕获坐标对所述多个第二量测标记点进行量测，以实现对所述目标晶圆的晶圆量测。
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