中国工程物理研究院激光聚变研究中心崔建朋获国家专利权
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龙图腾网获悉中国工程物理研究院激光聚变研究中心申请的专利基于计算全息的大口径滤波透镜PSD1频段表面误差测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119803859B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411960673.1,技术领域涉及:G01M11/00;该发明授权基于计算全息的大口径滤波透镜PSD1频段表面误差测量方法是由崔建朋;李智钢;孔维鹏;吴迪龙;赵恒设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于计算全息的大口径滤波透镜PSD1频段表面误差测量方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于计算全息的大口径滤波透镜PSD1频段表面误差测量方法,属于光学测量技术领域。该方法包括以下步骤:设计并制作计算全息元件;构建大口径滤波透镜PSD1频段表面误差测量装置;将计算全息元件与大口径干涉仪对准;调整被测透镜;数据获取与处理,得到被测透镜的PSD1频段表面误差。本发明通过将计算全息元件与大口径干涉仪相结合,将大口径干涉仪输出的准直光束转换为球面波前,并通过计算全息元件将准直光束分为参考波前和测量波前,从而实现对被测透镜PSD1频段表面误差的高精度测量。该方法具有装置结构简单、成本低、易于工程实践应用等优势,测量精度可达1.4029nmRMS,满足高功率激光系统的需求,具有显著的应用价值。
本发明授权基于计算全息的大口径滤波透镜PSD1频段表面误差测量方法在权利要求书中公布了:1.一种基于计算全息的大口径滤波透镜PSD1频段表面误差测量方法,其特征在于,该方法包括: 步骤S1、设计并制作计算全息元件,包括:S1.1、设计具有检测区域和基准区域的计算全息元件,并确定计算全息元件的相关参数;其中检测区域用于测量被测透镜的表面误差,基准区域用于投射标记以辅助调整被测透镜的位置;所述计算全息元件的相关参数至少包括检测区域和基准区域分别使用的衍射波前级次和; 步骤S2、构建大口径滤波透镜PSD1频段表面误差测量装置,包括:S2.1、将大口径干涉仪与所述计算全息元件组合并安装在光学隔振平台上;S2.2、利用计算全息元件将大口径干涉仪输出的平行准直光束转换为球面波前;S2.3、通过计算全息元件将大口径干涉仪输出的准直光束分为参考波前和测量波前,其中参考波前由反射的0级衍射波前形成,测量波前由透射的级衍射波前形成; 步骤S3、将计算全息元件与大口径干涉仪对准,包括:S3.1、根据大口径干涉仪的对准激光粗调计算全息元件的位置,使计算全息元件的中心与对准激光的中心重合;S3.2、打开大口径干涉仪的对准模式显示窗口,调节计算全息元件的俯仰和倾斜,使计算全息元件的刻蚀面反射光斑与十字准线中心重合;S3.3、在计算全息元件前放置一个角锥棱镜,切换至大口径干涉仪的观察模式显示窗口,根据计算全息元件与角锥棱镜之间形成的第一干涉图,微调计算全息元件的位置和姿态,直至计算全息元件与角锥棱镜之间形成的第一干涉图为零条纹干涉图; 步骤S4、调整被测透镜,包括:S4.1、去掉角锥棱镜,依据基准区域透射的级衍射波前投射的标记粗调被测透镜的位置,使被测透镜处于标记所在的指示位置;S4.2、打开大口径干涉仪的对准模式显示窗口,调整被测透镜的俯仰和倾斜,使被测透镜的被测表面反射光斑与十字准线中心重合;S4.3、切换至大口径干涉仪的观察模式显示窗口,根据被测透镜的被测表面与计算全息元件之间形成的第二干涉图,微调被测透镜的位置和姿态,直至被测透镜的被测表面与计算全息元件形成的第二干涉图为零条纹干涉图; 步骤S5、数据获取与处理,得到被测透镜的PSD1频段表面误差,包括:S5.1、在大口径干涉仪的测量模式下,采集第二干涉图,并获取被测透镜的原始表面误差数据。
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