南京航空航天大学;南京航空航天大学苏州研究院张航瑛获国家专利权
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龙图腾网获悉南京航空航天大学;南京航空航天大学苏州研究院申请的专利一种半导体高深宽比微尺寸结构深度测量方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119803339B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411933612.6，技术领域涉及：G01B11/22；该发明授权一种半导体高深宽比微尺寸结构深度测量方法及系统是由张航瑛;张伟豪;孟凯;楼佩煌;钱晓明;武星设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体高深宽比微尺寸结构深度测量方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开一种半导体高深宽比微尺寸结构深度测量方法及系统，涉及半导体技术领域。所述方法包括：对测量系统的视场区域进行划分，确定待测区域和辅助区域的位置关系；基于待测区域和辅助区域的位置关系，通过监测扫描过程中的光强波动并自动调整步长来提高效率。同时，发明方法中引入状态值进行步长调整，实现了多个局部相干信号的分割和匹配，从而保证了峰值位置准确性，并在采集完成后记录扫描步长调整情况，以及识别调整状态值连续段的局部相干峰，利用改进重心算法计算局部相干峰的峰值位置及对应的深度值。本发明能够在不降低精度的前提下，可将有效降低图像采集量，同时消除干涉信号的多峰歧义影响。
本发明授权一种半导体高深宽比微尺寸结构深度测量方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体高深宽比微尺寸结构深度测量方法，其特征在于，包括： 对测量系统的视场区域进行划分，确定待测区域和辅助区域的位置关系； 基于待测区域和辅助区域的位置关系，驱动微位移结构以初始设置步长进行扫描采集，得到初始相邻帧显微干涉图；所述初始相邻帧显微干涉图为通过数据采集到的前两个干涉图； 继续驱动微位移结构进行扫描采集，根据第n-1个干涉图和第n个干涉图计算相邻帧的光强波动评价函数；其中，n＝[3，N]；N为干涉图总数量； 根据所述光强波动评价函数和设定光强波动阈值判断是否对扫描步长进行调整，并在采集完成后记录扫描步长调整情况； 基于所述扫描步长调整情况，识别调整状态值连续段的局部相干峰； 利用改进重心算法计算局部相干峰的峰值位置及对应的深度值。
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