深圳市矩阵多元科技有限公司张亮获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种盖板安装方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119794770B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411826988.7,技术领域涉及:B23P19/04;该发明授权一种盖板安装方法是由张亮;李永杰;龚文志;邵寿潜;张晓军设计研发完成,并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种盖板安装方法在说明书摘要公布了:本申请提供了一种盖板安装方法,属于半导体生产设备技术领域,包括:通过辅助车将待安装的石英部件或陶瓷部件抬升至接近所述盖板,并与所述盖板之间保持间距;在石英部件或陶瓷部件的安装孔内向上穿设多个调节组件连接盖板,通过所述调节组件抬升石英部件或陶瓷部件至抵接所述盖板;对石英部件或陶瓷部件的所述安装孔内设置连接件连接所述盖板上的螺纹孔,再拆卸所述调节组件,并从所述调节组件拆卸的位置安装所述连接件。本申请利用辅助车抬升的速度快,有利于提高安装效率,而人工进行调节部的调节时的抬升速度慢,工人有充足的时间查看提升情况,避免了石英部件或陶瓷部件在安装过程中容易碰撞受损的风险。
本发明授权一种盖板安装方法在权利要求书中公布了:1.一种盖板安装方法,其特征在于,包括: 将待安装的石英部件或陶瓷部件放置在辅助车上,并移动至盖板的下方,再控制所述辅助车抬升,将待安装的石英部件或陶瓷部件抬升至接近所述盖板,并与所述盖板之间保持间距; 在石英部件或陶瓷部件的至少部分安装孔内向上穿设多个调节组件,将所述调节组件连接于所述盖板上的螺纹孔,再向上调节所述调节组件位于石英部件或陶瓷部件下方的调节部,通过所述调节部抬升石英部件或陶瓷部件至抵接所述盖板; 对石英部件或陶瓷部件的所述安装孔内设置连接件连接所述盖板上的螺纹孔,再拆卸所述调节组件,并从所述调节组件拆卸的位置安装所述连接件。
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