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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利晶圆图像扫描方法、装置、终端设备和可读存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119786367B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411805713.5，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权晶圆图像扫描方法、装置、终端设备和可读存储介质是由张彬彬;徐新阳;邓想全设计研发完成，并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆图像扫描方法、装置、终端设备和可读存储介质在说明书摘要公布了：本申请实施例公开了一种晶圆图像扫描方法、装置、终端设备和可读存储介质，上述方法包括：检测承载在运动台上的待扫描晶圆的晶圆离焦高度，以获得对待扫描晶圆进行追焦的基准高度；基于晶圆对焦校准数据中包括的各个特征点的位置信息生成第一运动轨迹，并控制运动台运动以控制待扫描晶圆基于第一运动轨迹运动；基于晶圆对焦校准数据获取待扫描晶圆运动至各个扫描点的追焦补偿高度；获取待扫描晶圆运动至各个扫描点时的离焦反馈参数，基于基准高度、追焦补偿高度和离焦反馈参数生成待扫描晶圆运动至各个扫描点时的实时对焦高度，并基于实时对焦高度对待扫描晶圆进行对焦以获取待扫描晶圆的晶圆图像，对焦响应速度快，对焦精度高，适用性强。

本发明授权晶圆图像扫描方法、装置、终端设备和可读存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆图像扫描方法，其特征在于，包括： 检测承载在运动台上的待扫描晶圆的晶圆离焦高度，以获得对所述待扫描晶圆进行追焦的基准高度； 基于晶圆对焦校准数据中包括的各个特征点的位置信息生成第一运动轨迹，并控制所述运动台基于所述第一运动轨迹运动以控制所述待扫描晶圆基于所述第一运动轨迹运动； 从所述晶圆对焦校准数据中获取所述待扫描晶圆运动至所述各个特征点的追焦补偿高度，并基于所述各个特征点的追焦补偿高度获得所述待扫描晶圆运动至非特征点的追焦补偿高度，以获得所述待扫描晶圆运动至各个扫描点的追焦补偿高度，其中，所述各个扫描点包括所述各个特征点以及所述特征点之外的所述非特征点； 获取所述待扫描晶圆运动至所述各个扫描点时的离焦反馈参数，基于所述基准高度、所述追焦补偿高度和所述离焦反馈参数生成所述待扫描晶圆运动至所述各个扫描点时的实时对焦高度，并基于所述实时对焦高度对所述待扫描晶圆进行对焦以获取所述待扫描晶圆的晶圆图像。

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