先导薄膜材料(江苏)有限公司谢佳琦获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(江苏)有限公司申请的专利一种氧化铟铈靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119751020B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411831870.3，技术领域涉及：C04B35/01；该发明授权一种氧化铟铈靶材及其制备方法是由谢佳琦;卿小斐;何小山;蔡新志;余芳;李帅;王呈设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化铟铈靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于靶材制备领域，具体公开了一种多层叠压氧化铟铈靶材的制备方法。包括以下步骤：1氧化铟粉末和氧化铈粉末经制浆、第一次造粒制备混合粉末A；2混合粉末A经预烧结、第二次造粒制备混合粉末B；3将混合粉末B进行生坯成型：先成型多个小尺寸靶坯，多个小尺寸靶坯叠置形成靶坯整体，对靶坯整体进行叠压，得成型靶坯；4烧结成型靶坯，得氧化铟铈靶材。本发明在不影响靶材尺寸和改变其成分的前提下，通过先压制小尺寸靶坯，而后进行叠压使靶材具有多层结构，使得靶材纵向导热性降低，热量优先横向传导，提高蒸发镀膜时靶材的利用率。
本发明授权一种氧化铟铈靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种氧化铟铈靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 1氧化铟粉末和氧化铈粉末经制浆、第一次造粒制备混合粉末A； 2混合粉末A经预烧结、第二次造粒制备混合粉末B； 3将混合粉末B进行生坯成型：先成型多个小尺寸靶坯，所述小尺寸靶坯横截面的形状、尺寸与成型靶坯横截面的形状、尺寸相同，多个小尺寸靶坯叠置形成靶坯整体，对靶坯整体进行叠压，得成型靶坯； 4烧结成型靶坯，得氧化铟铈靶材。
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