清华大学深圳国际研究生院张旻获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学深圳国际研究生院申请的专利一种基于环形叉指电极的声表面波温度传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119738058B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411941801.8，技术领域涉及：G01K11/26；该发明授权一种基于环形叉指电极的声表面波温度传感器是由张旻;王国丞设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于环形叉指电极的声表面波温度传感器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于环形叉指电极的声表面波温度传感器。所述传感器是谐振型的声表面波传感器，包括金属薄膜层与压电基底。所述金属薄膜层包括环形叉指电极、环形反射栅、汇流条和焊盘，其中环形叉指电极由在同一直线上的相向汇流条向两侧沿圆周方向延伸而出，环形反射栅布置在环形叉指电极外围。金属薄膜层通过微纳加工工艺在基底表面进行金属图形化制备。该传感器能将环境温度转化为传感器的声表面波谐振频率，利用扫频电信号读取传感器频率的变化来感知外界温度的变化。该传感器具有耐高温、量程大、信噪比高、准确性高、易加工等优点。
本发明授权一种基于环形叉指电极的声表面波温度传感器在权利要求书中公布了：1.一种基于环形叉指电极的声表面波温度传感器，其特征在于，包括： 金属薄膜层和压电基底形成的双层结构； 所述金属薄膜层位于所述压电基底上，包括环形叉指电极、环形反射栅、汇流条和焊盘； 所述环形叉指电极由在同一直线上的相向汇流条向两侧沿圆周方向延伸而出，其电极线宽与间距的和为半个声表面波波长； 所述环形反射栅布置在所述环形叉指电极外围，其反射栅线宽和间距的和为半个声表面波波长； 其中，所述压电基底能将外界温度转化为声表面波谐振频率，通过扫频电信号输入所述环形叉指电极，与所述反射栅引发谐振，读取对应谐振频率，以此感知外界温度。
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