中国科学院微电子研究所王然获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利一种基于相干探测技术的二次谐波表征系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119688715B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411632578.9，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种基于相干探测技术的二次谐波表征系统是由王然;刘峥岩;蒋广通;付悦;岳嵩设计研发完成，并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于相干探测技术的二次谐波表征系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基于相干探测技术的二次谐波表征系统，包括；入射光路组件用于对激光脉冲进行波长、功率控制，偏振方向调整和滤波后分成两束光，一束在入射光路中进行光轴调整和聚焦后照射到样品上，光束经样品调制后产生携带缺陷信息的SHG；另一束进入相干探测光路；相干探测光路组件用于对进入相干探测光路中的光束进行倍频、滤波、偏振方向和强度调整、光程补偿和移相后，形成引入光程和相位扰动的参考光束；出射光路组件用于对样品反射的信号光束进行准直光轴调整后与参考光束合束；合束光在探测器上实现相干，通过相位扫描后确定特定的相位匹配状态提取界面信号。本发明实现非中心对称材料体系界面信号提取，扩展了SHG表征技术的使用场景。
本发明授权一种基于相干探测技术的二次谐波表征系统在权利要求书中公布了：1.一种基于相干探测技术的二次谐波表征系统，其特征在于，包括：入射光路组件、出射光路组件、相干探测光路组件、样品和样品台； 所述入射光路组件，用于对主激光脉冲进行波长控制、功率控制、偏振方向调整和滤波后，分束成两束光，一束在入射光路中作为信号光束进行光轴调整和聚焦后照射到样品台上的样品，光束经样品调制后产生携带缺陷信息的SHG；另一束进入相干探测光路； 所述相干探测光路组件，用于对进入相干探测光路中的光束进行倍频、滤波、偏振方向和强度调整、光程补偿和移相后，形成引入光程和相位扰动的参考光束； 所述出射光路组件，用于对样品反射的信号光束进行准直、光轴调整后与参考光束合束；合束光进行偏振方向强化和滤波后在探测器上实现相干，并进行光电探测； 当引入光程和相位扰动的参考光束与样品界面反射光束的偏振方向、光程和相位一致时发生光束相干，通过光电探测检测出界面信号的SHG表征。
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