西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司朱海海获国家专利权
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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司申请的专利滚圆加工偏心检测装置及方法、滚圆加工设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119687834B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411808136.5,技术领域涉及:G01B11/27;该发明授权滚圆加工偏心检测装置及方法、滚圆加工设备是由朱海海设计研发完成,并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本滚圆加工偏心检测装置及方法、滚圆加工设备在说明书摘要公布了:本公开提供一种滚圆加工偏心检测装置及方法、滚圆加工设备,该装置包括:晶棒夹持单元;支架单元,被设置于晶棒夹持单元上;移动单元,与支架单元连接,且相对晶棒沿晶棒的轴向可运动;测距单元,被设置于移动单元上,且测距单元的测量端朝向晶棒,能够测量测量端在第一方向上到障碍物的距离,第一方向为垂直晶棒轴向的方向;控制单元,用于将测距单元移动至第一目标位置上;在晶棒转动过程中,控制测距单元测量测量端到晶棒表面的距离;根据距离数据,获取晶棒的偏心信息,偏心信息包括最大偏心量和偏心最大位置中至少一项。本公开的滚圆加工偏心检测装置及方法、滚圆加工设备可减少偏心校正时间。
本发明授权滚圆加工偏心检测装置及方法、滚圆加工设备在权利要求书中公布了:1.一种滚圆加工偏心检测装置,其特征在于,包括: 晶棒夹持单元,包括用于夹持晶棒头部的头部夹持件和用于夹持晶棒尾部的尾部夹持件,所述晶棒夹持单元被构造为可夹持及转动所述晶棒; 支架单元,被设置于所述头部夹持件和或所述尾部夹持件上; 移动单元,与所述支架单元连接,且相对所述晶棒沿所述晶棒的轴向可运动;及 测距单元,被设置于所述移动单元上,且所述测距单元的测量端朝向所述晶棒,所述测距单元,用于测量所述测量端在第一方向上到障碍物的距离,其中,所述第一方向为垂直所述晶棒轴向的方向; 控制单元,分别与所述晶棒夹持单元、所述移动单元及所述测距单元连接,所述控制单元用于: 控制所述移动单元将所述测距单元移动至对应于所述晶棒轴向位置的第一目标位置上;控制所述头部夹持件和所述尾部夹持件夹持并转动所述晶棒;在所述晶棒转动过程中,根据所述测距单元测量得到的距离数据,获取所述晶棒的偏心信息,其中所述偏心信息包括最大偏心量和偏心最大位置中至少一项。
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