南京钻石激光科技有限公司周建平获国家专利权
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龙图腾网获悉南京钻石激光科技有限公司申请的专利激光辐射频率转换产生紫外光的装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119668003B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510096039.6,技术领域涉及:G02F1/35;该发明授权激光辐射频率转换产生紫外光的装置是由周建平设计研发完成,并于2025-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光辐射频率转换产生紫外光的装置在说明书摘要公布了:本发明涉及激光技术领域,公开了激光辐射频率转换产生紫外光的装置,包括:前部光学系统对输入的基波光束的光强分布进行调整,将入射基波光束部分转换为二倍频谐波,或使得所转换的二倍频谐波的横截面光强分布形状得到调整,调整后的二倍频光束出射至四倍频晶体,产生四倍频谐波,从四倍频晶体的出射界面出射,经过此出射界面折射出去,输出四倍频出射光束。本发明通过预先调整好转换前的基波或二次谐波的光束强度分布形状和光束大小,实现腔外激光束的频率转换,从而对产生的四倍频光束质量的有效控制,进而只需要使用少量的或不需要任何紫外光学部件的情形下,达到一般对紫外、包括深紫外、或真空紫外光束特性的要求。
本发明授权激光辐射频率转换产生紫外光的装置在权利要求书中公布了:1.激光辐射频率转换产生紫外光的装置,其特征在于:包括前部光学系统和四倍频晶体; 前部光学系统,用于对输入的基波或基波产生的二倍频谐波光束或二者的光强分布进行调整,并将入射基波光束转换为基波和二倍频谐波,也使得所转换的二倍频谐波的横截面光强分布形状得到调整,调整后的基波或二倍频谐波光束出射至所述四倍频晶体; 四倍频晶体,所述四倍频晶体的光束出射面切割为布鲁斯特角出射界面,将输入的所述二倍频谐波在所述四倍频晶体内发生倍频转换,产生四倍频谐波光束,所述四倍频谐波光束经过布鲁斯特角出射界面后出射,转换为与初始输入的基波光束的横截面光强分布形状基本相近或者最终所需形状的四倍频光束出射; 所述前部光学系统包括至少一个二倍频晶体,用于将输入的基波光束转换为二倍频谐波和剩余基波,使得产生的二倍频谐波的横截面光强分布形状得到调整; 所述前部光学系统还包括过渡介质以及整形模块,其中: 所述过渡介质的至少一个界面切割为近布鲁斯特入射角界面,用于对输入的基波光束的光强分布进行整形,出射到所述二倍频晶体上; 或,所述过渡介质具有至少一个界面为布鲁斯特角度入射或出射界面,对入射的光束横截面光斑形状进行调整,使得所调整的基波光束或二次谐波光束具有有利于产生所需要的四倍频紫外光束的最终光束形状; 所述二倍频晶体将由所述过渡介质调整后的基波部分地转换为二倍频谐波和剩余的基波,将剩余的基波或二倍频谐波出射至所述整形模块或直接到四倍频晶体; 所述整形模块安排在二倍频晶体前面或者后面,接收所述基波或二倍频谐波的入射,对所述基波或二倍频谐波实现空间上或时间上或两者都有的预先压缩或展宽调整; 还包括后部光学系统,其中, 四倍频晶体将二倍频光转换成为四倍频光,四倍频光出射后,经过后部光学系统整形四倍频光束的形状、大小、或像散特性后出射,其中: 所述后部光学系统包含四个一维曲面的镜片,每两个为一组,其中一组被安排在同一个方向上,另一组被安排在另一个方向上。
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