大连力佳化学制品有限公司丁燕获国家专利权
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龙图腾网获悉大连力佳化学制品有限公司申请的专利一种复合膜用蚀刻液及其在铜层和镍层复合膜刻蚀中的应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119530806B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411698079.X,技术领域涉及:C23F1/18;该发明授权一种复合膜用蚀刻液及其在铜层和镍层复合膜刻蚀中的应用是由丁燕;焦玉莹;金丹设计研发完成,并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种复合膜用蚀刻液及其在铜层和镍层复合膜刻蚀中的应用在说明书摘要公布了:本发明公开一种复合膜蚀刻液及其在铜层和镍层复合膜刻蚀中的应用,属于电子设备化学蚀刻领域。该蚀刻液主要成分包括硫酸、盐酸、氯化铁、草酸、过氧化氢、硫酸钠和谷氨酸,其余为超纯水。该蚀刻液可对铜与镍复合膜进行蚀刻,蚀刻后边缘平整光滑,锥角角度合适,蚀刻速率快无不溶物产生,操作简单,耗时少,适合工业化批量生产。
本发明授权一种复合膜用蚀刻液及其在铜层和镍层复合膜刻蚀中的应用在权利要求书中公布了:1.复合膜用蚀刻液在铜层和镍层复合膜刻蚀中的应用,所述蚀刻液中的成分按质量百分比计包括:双氧水0.05%、氯化铁18.2%、硫酸10.9%、盐酸17.5%、谷氨酸0.05%、草酸1.6%、硫酸钠1.9%、超纯水49.8%。
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