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超微中程纳米科技(苏州)有限公司张建坡获国家专利权

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龙图腾网获悉超微中程纳米科技(苏州)有限公司申请的专利三明治式超精细纳米涂层制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119433464B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411799212.0,技术领域涉及:C23C14/32;该发明授权三明治式超精细纳米涂层制备方法是由张建坡设计研发完成,并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

三明治式超精细纳米涂层制备方法在说明书摘要公布了:本发明一种三明治式超精细纳米涂层制备方法,步骤包括:工件进行超声去离子水漂洗、脱水烘干;工件载入真空做业炉,抽真空,同时注入氮气;离子源工作,进行工件表面处理;调试搭载真空做业炉的弧源适应切换的表面纳米涂层设备,设置未过滤式弧源供应件、A型过滤式弧源供应件、B型过滤式弧源供应件;未过滤式弧源供应件进行离子源供应,轰击工件表面,形成打底层;A型过滤式弧源供应件进行离子源供应,粗略A型过滤式弧源供应件过滤的离子构成的离子束轰击工件表面,形成粗略过滤式中间精密层;A型过滤式弧源供应件进行离子源供应,粗略A型过滤式弧源供应件过滤的离子构成的离子束轰击工件表面,形成精密过滤式表面。

本发明授权三明治式超精细纳米涂层制备方法在权利要求书中公布了:1.一种三明治式超精细纳米涂层制备方法,其特征在于:步骤包括: 1工件进行超声去离子水漂洗、脱水烘干; 2工件载入真空做业炉,抽真空至真空度应低于1×10-3Pa,同时注入氮气,至真空度大于1.01x10-3Pa; 3离子源工作,进行工件表面处理,时间2-4min,偏压100V; 4调试搭载真空做业炉的弧源适应切换的表面纳米涂层设备,真空做业炉上设置有弧源供应模块,弧源供应模块包括弧源装载板,弧源装载板上设置有未过滤式弧源供应件、A型粗略过滤式弧源供应件、B型精密过滤式弧源供应件; 5未过滤式弧源供应件进行离子源供应,未过滤的离子构成的离子束轰击工件表面,时间8-10min,弧电流80A,偏压100V,形成纳米涂层的打底层; 6A型粗略过滤式弧源供应件进行离子源供应,A型粗略过滤式弧源供应件过滤的离子构成的离子束轰击工件表面,时间5-7min,弧电流85A,偏压130-150V,形成纳米涂层的粗略过滤式中间精密层; 7B型精密过滤式弧源供应件进行离子源供应,B型精密过滤式弧源供应件过滤的离子构成的离子束轰击工件表面,时间2-4min,弧电流100A,偏压130-150V,形成纳米涂层的精密过滤式表面; 8自然降温至100℃以内,关闭真空系统,取出工件; A型粗略过滤式弧源供应件包括直筒型过滤体,进行直径20μm以上离子源过滤;B型精密过滤式弧源供应件包括异形筒状过滤体,异形筒状过滤体进行直径大于10μm的离子过滤;异形筒状过滤体为L型过滤体或类s型过滤体。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人超微中程纳米科技(苏州)有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区霞盛路28号现代工业坊5-1-3;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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