科磊股份有限公司文瑉瑛获国家专利权
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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利用于确定样品信息的系统、方法、及相应计算机可读媒体获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119325644B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202380042898.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于确定样品信息的系统、方法、及相应计算机可读媒体是由文瑉瑛;P·拉基纳雅尼;J-C·佩林;S·I·潘戴夫设计研发完成，并于2023-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于确定样品信息的系统、方法、及相应计算机可读媒体在说明书摘要公布了：本发明提供用于确定样品的信息的方法及系统。一种系统包含：输出获取子系统，其经配置以在样品上的一或多个目标位置处产生所述样品的输出；及一或多个温度传感器，其经配置以测量所述系统内的一或多个温度。所述系统还包含深度学习模型，所述深度学习模型经配置以基于由计算机子系统输入到所述深度学习模型的所述一或多个经测量温度中的至少一者而预测所述一或多个目标位置中的至少一者的误差。所述计算机子系统经配置以通过将所述预测误差应用于所述一或多个目标位置中的所述至少一者来确定所述一或多个目标位置中的所述至少一者的经校正目标位置。
本发明授权用于确定样品信息的系统、方法、及相应计算机可读媒体在权利要求书中公布了：1.一种经配置以确定样品的信息的系统，其包括： 输出获取子系统，其经配置以在样品上的一或多个目标位置处产生所述样品的输出； 一或多个温度传感器，其经配置以测量所述输出获取子系统内的一或多个温度； 计算机子系统，其经配置以从所述一或多个温度传感器获取所述一或多个经测量温度；及 一或多个组件，其由所述计算机子系统执行； 其中所述一或多个组件包括深度学习模型，所述深度学习模型经配置以基于由所述计算机子系统输入到所述深度学习模型的所述一或多个经测量温度中的至少一者而预测所述一或多个目标位置中的至少一者的误差，其中经预测的所述误差被定义为1既定目标位置与在不具有任何基于温度的校正的情况下执行产生输出的预测位置之间的差；或2所报告目标位置与预测已产生所述输出的实际样品定位之间的差；且 其中所述计算机子系统进一步经配置以通过将经预测的所述误差应用于所述一或多个目标位置中的所述至少一者而确定所述一或多个目标位置中的所述至少一者的经校正目标位置。
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