湖南科鑫泰电子有限公司刘文越获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南科鑫泰电子有限公司申请的专利一种钽酸锂晶片黑化工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119221129B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411339378.4,技术领域涉及:C30B29/30;该发明授权一种钽酸锂晶片黑化工艺是由刘文越;戴冕设计研发完成,并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种钽酸锂晶片黑化工艺在说明书摘要公布了:本发明属于晶片加工领域,具体的说是一种钽酸锂晶片黑化工艺,本发明通过热处理箱体内部下方的支撑块对钽酸锂晶片进行支撑,配合夹块对钽酸锂晶片的下部进行夹固,对晶片下部的夹固工作,晶片在被热处理箱体内部下方的夹块进行下夹固受热一定时间后,热处理箱体内部上方的夹块下移至晶片的上部位置并对晶片的上部进行上夹固工作,晶片再次进行加热,使用热处理箱体内部下方的夹块对钽酸锂晶片进行下夹固热处理一段时间后,再使用热处理箱体内部上方的夹块对碳酸锂晶片进行上夹固热处理一段时间,一定程度的防止了夹固面受到夹具的遮挡,导致其夹固端面无法充分受热,夹固端面的黑化效果受到影响。
本发明授权一种钽酸锂晶片黑化工艺在权利要求书中公布了:1.一种钽酸锂晶片黑化工艺,其特征在于,包括以下步骤: S1:对钽酸锂晶片清洁,去除表面的杂质和污染物: S2:将钽酸锂晶片置于热处理炉中并夹持固定,保证钽酸锂晶片在黑化时的稳定性; S3:使用热处理炉对晶片加热,提供黑化反应所需的能量,在加热的同时,将还原剂注入到热处理炉中,还原剂与钽酸锂晶片发生化学反应,使晶片表面黑化; S4:使用热处理炉黑化反应后,将晶片的温度降低到合适的范围; S5:根据需要进行后续处理步骤,清洗、退火,进一步改善晶片的性能; 钽酸锂晶片黑化工艺中S2的热处理炉包括热处理箱体,安装在热处理箱体顶部的进气阀和泄压阀,热处理箱体的外侧壁上安装有温度检测器,热处理箱体背部的中间位置处设置有驱动组件,驱动组件用以提供驱动力,热处理箱体内部上下两端的中间位置处均设置有夹固组件,夹固组件用以钽酸锂晶片的夹固,夹固组件上设置有联动组件,联动组件用以对夹固组件施加力使其夹持,热处理箱体上下两端的中间位置处设置有推移组件,推移组件用以推动夹固组件移动,热处理箱体内部的两侧均安装有电阻丝,电阻丝用以对钽酸锂晶片的加热; 夹固组件包括设置在热处理箱体内部上下两端中间位置处的支架,支架上固定有两个支撑块,支撑块的两侧铰接有相对应的两个夹块,支撑块的下方设置有四个复位弹簧,两个复位弹簧固定于相对应的两个夹块之间; 两个支撑块在支架中线的两侧对称,两个夹块在支撑块中线的两侧对称; 夹块的受力部受椭圆轮盘的压力作用外扩时,夹块的受力部会拉动复位弹簧使其伸长,利用热处理箱体内部下方的支撑块对钽酸锂晶片进行支撑,配合夹块对钽酸锂晶片的下部进行夹固,便可完成对钽酸锂晶片下部的夹固工作; 热处理箱体内部下方的夹块的受力部失去椭圆轮盘的压力作用,伸长的复位弹簧利用自身弹力作用带动夹块的受力部对向靠近,夹块的夹持部远离钽酸锂晶片,夹块停止对钽酸锂晶片的底部夹固,并远离钽酸锂晶片的底部; 钽酸锂晶片在被热处理箱体内部下方的夹块进行下夹固受热后,在热处理箱体顶部的液压伸缩杆的作用下,热处理箱体内部上方的夹块下移至钽酸锂晶片的上部位置并对钽酸锂晶片的上部进行上夹固工作,同时热处理箱体内部下方的夹块在热处理箱体底部的液压伸缩杆的作用下移回退至初始位置并停止对钽酸锂晶片的夹固。
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