先导薄膜材料(广东)有限公司李开杰获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种氧化锡靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119162546B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411295099.2，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种氧化锡靶材及其制备方法是由李开杰;罗斯诗;顾德盛;张兴宇;王奇峰设计研发完成，并于2024-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化锡靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于新材料技术领域，公开了一种氧化锡靶材的制备方法，包括如下步骤：步骤1：采用沉淀法制备氧化锡前驱体；步骤2：将氧化锡前驱体在惰性氛围下以300～400℃的条件煅烧得到比表面积为35～38m2g的氧化锡粉体；步骤3：将步骤2得到的氧化锡粉体和水和或醇进行混合，并采用高压釜进行热处理，得到比表面积为30～33m2g的氧化锡粉体；步骤4：将步骤3得到的氧化锡粉体置于模具中，在真空环境下加压煅烧，得到氧化锡靶材；该方法采用沉淀法制备前驱体，将前驱体进行预煅烧然后进行溶液法热处理，最后制备靶材，其有效的减少了偏析的现象进而降低了电阻率，得到富含氧空位缺陷的氧化锡粉末，进而得到低电阻率、高氧空位缺陷的氧化锡靶材。同时，本发明还提供了基于该方法制备得到的氧化锡靶材。
本发明授权一种氧化锡靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种氧化锡靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤1：采用沉淀法制备氧化锡前驱体； 步骤2：将氧化锡前驱体在惰性氛围下以300～400℃的条件煅烧得到比表面积为35～38m2g的氧化锡粉体； 步骤3：将步骤2得到的氧化锡粉体和水和或醇进行混合，并采用高压釜进行热处理，得到比表面积为30～33m2g的氧化锡粉体； 步骤4：将步骤3得到的氧化锡粉体置于模具中，在真空环境下加压煅烧，得到氧化锡靶材。
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